
作为业主,在为工程公司制定无尘室的洁净度等级时,可以参考以下几条要点:
首先:洁净度等级定义的模式应当设定为:Class X (at Y μm) 。其中,X 代表的是无尘室的等级,例如 100 或者 10000 等等,Y 则表示的是粒径,例如 0.2μm 、0.5μm 等,可以进行多项选择。其含义在于使用者明确规定,该无尘室当中微粒的含量,在这些特定的粒径方面必须满足该等级所设定的限度要求。通过这样清晰明确的规定,可以显著减少可能出现的纷争。以下是几个具体的例子:Class 1 (0.1μm, 0.2μm, 0.5μm) 、Class 100 (0.2μm, 0.5μm) 、Class 100 (0.1μm, 0.2μm, 0.5μm) 。在 Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100,1000,10000...) 这种情况下,通常关注一个粒径就基本能够满足要求。而在 Classes Less than 100 (M3.5) (Class 10,1...) 时,通常需要考察多个粒径的情况。
第二:明确规定无尘室的具体状态,例如:Class X (at Y μm) ,At-rest 。1. 空态(As-built):此时设施已经建设完成,所有的动力都已接通并且处于运行状态,但是没有生产设备、材料以及人员。2. 静态(At-rest):设施已经建设完毕,生产设备已经安装完成,并按照业主以及供应商共同认可的状态进行运行,但是没有生产人员在场。3. 动态(Operational):设施按照规定的状态进行运行,有规定的人员在场,并在双方商定的状况下开展工作。这样一来,供货商就能够非常清楚地了解到无尘室需要在 At-rest 状态下进行验收。
第三:自行制定微粒浓度的上限。通常在 As-built 时,无尘室往往都非常干净,微粒控制能力的测试相对较为困难,在这种时候,可以干脆将验收上限进一步压低。例如:Class 10000 (0.3μm <= 10000) ,As-built ;Class 10000 (0.5μm <= 1000) ,As-built 。这样做的目的在于确保无尘室在 Operational 状态时,依然具备充足的微粒控制能力。

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