
一、安装前的准备工作
1. 施工环境要求
光电净化车间的安装必须在粗装饰工程完成后的室内进行。室内空间必须清洁、无积尘,所有外窗均为中空玻璃固定窗,天棚以上墙梁板柱均需批腻子刷白。施工过程中需对零部件和场地随时清扫、擦净,确保施工环境本身不成为污染源。
2. 材料与构配件管理
各种构配件和材料应存放在有围护结构的清洁、干燥环境中,平整地放置在防潮膜上。开箱启封应在清洁环境中进行,严格检查其规格性能与完好程度,不合格或已损坏的构配件严禁安装。
3. 洁净度分级制度
施工过程中需建立三级洁净管理阶段:
常规洁净阶段:建筑外层完工后,加压风机开始运转,所有施工在正压环境下操作
非常洁净阶段:进行吊顶、地板、隔墙及洁净管道的安装施工,人员须穿专属鞋或鞋套
超级洁净阶段:结构完成后,进行高效过滤器、风淋室等对洁净等级有极高要求设备的安装与测试,应经常用真空吸尘器或便携式带高效过滤器的吸尘器进行打扫
二、围护结构安装
1. 地坪施工
光电车间地面有多种选择,包括防静电PVC板地面、环氧自流坪、环氧树脂玻璃钢防腐地面等。
防静电PVC贴面地板施工要点:
地面找平层平整度每2m²误差不大于±2mm,含水率低于8%,强度等级不少于M15
在地面上按规定尺寸粘贴铜箔条形成网状,交叉处用导电胶粘结,确保铜箔条间导通
粘贴好的铜箔网络中至少有4点与接地线接通,相邻铜箔条间的阻值小于10⁵Ω
铺设地板时从中心位置开始逐块向四周展开,确保每一块地板背面至少有一点有导电胶与铜箔相粘结
环氧自流坪施工:主要用于清洗间等区域,将自流坪粉料倒入常温清水搅拌形成流态均匀的混合物,倒入施工区域均匀涂至所要求的厚度即可。
2. 岩棉壁板及吊顶安装
光电洁净室的内墙和吊顶通常采用50mm厚岩棉彩钢板。
安装关键要求:
壁板安装前严格放线,墙角垂直交接,防止累计误差造成壁板倾斜扭曲,垂直度偏差不大于0.2%
安装过程中不得撕下壁板表面的塑料保护膜,防止撞击和踩踏板面
吊顶按房间宽度方向起拱,使吊顶在受荷载后的使用过程中保持平整
天棚与墙面、墙面与地坪交叉阴角处均有定型连接件连接,严格按要求完成密封
所有门窗线盒洞口在安装壁板前开好洞口,管线事先在夹板岩棉中穿好
3. 铝框彩钢门与铝合金固定窗安装
铝合金门采用平开式安装,门框四周镶有密封条,门框简洁易清洗
铝合金固定窗采用圆弧过渡形式,起到不积尘的作用,型材紧贴彩钢板
在不同洁净等级区域的通道处,安装不锈钢质密封防火门与空气吹淋装置
灯具、风口、功能接头、观察窗等各种孔洞的周边、不同材料的交接处,均需严格完成密封和防裂措施,保证整个洁净室的气密性
三、净化空调系统安装
1. 风管制作与安装
风管是净化系统的重要组成部分,其制作安装质量直接影响洁净度效果。
风管内表面必须平整光滑,风管安装之后、保温之前应进行漏风检查
水平风管安装后的水平度容许误差每米不超过3mm,总误差不超过20mm
垂直风管安装后的不垂直度容许误差每米不超过2mm,总误差不超过20mm
风管不能有横向拼接缝,矩形风管底部总宽小于或等于900mm时,底部不能有纵向拼接缝
风管加工和安装气密性试验压力:总管1500Pa,干管(含支干管)1000Pa,支管700Pa
2. 高效过滤器安装
高效过滤器是保障光电车间洁净度的核心设备,安装要求极为严格。
安装流程:
洁净室及空调净化系统达到清洁要求后,净化空调系统必须试运转,连续运转12小时以上
再次清扫、擦净洁净室后立即安装高效过滤器
过滤器运输和存放按照生产厂标志的方向搁置,轻拿轻放,防止剧烈震动和碰撞
安装前在现场拆开包装进行外观检查,包括滤纸、密封胶和框架有无损坏,尺寸是否符合要求,然后进行检漏
安装过滤器的框架要平整,每个过滤器的安装框架平整度允许偏差不大于1mm
过滤器和框架之间的密封采用密封垫和液槽密封或双环密封
密封要求:
采用密封垫时,垫的厚度不宜超过8mm,压缩率为25%-30%
采用液槽密封时,液槽内的液面高度要符合设计要求,框架各接缝处不得有渗漏现象
安装过滤器时,外框上箭头应和气流方向一致
3. 送风口安装
光电车间的高效送风口在结构楼板与彩钢板吊顶之间采用花篮螺丝连接,以便调节,使送风口边框与彩钢板之间紧密,以减轻彩钢板顶棚负荷。
四、电气系统安装
1. 电缆桥架安装
桥架订货时先到现场检查安装走向是否有障碍,预留孔洞尺寸是否足够,同时确定三通及弯头等配件的位置。桥架整体需与接地系统良好连接。
2. 保护管敷设
在洁净车间非洁净区内配管,与一般工业项目要求相同,管口毛刺打磨光滑
在洁净区内配管,暗配管尽量在彩钢板内敷设,彩钢板上的配电箱、插座、开关的接线盒及管口等地方,待穿线后清扫干净,并用胶泥将管口堵死,面板周边都必须做好密封处理
3. 配电与接地
洁净区配电设备除满足安全技术要求外,管线应暗装
进入室内的管线、套管应为不锈材料,管线应严格密封
防静电接地系统需可靠连接,确保接地电阻符合设计要求
五、管道系统安装
1. 管道布设原则
管道的水平安装应在技术夹层内完成,竖向安装应在管道竖井和墙内完成,尽可能减少和避免管道进入洁净区内的长度,在洁净区内尽量只见控制阀门,而不见管道。
2. 施工协调
管道先按施工图配到各工段房间使用点的技术夹层上,待设备全部进场到位、确认安装无误后,方可进行二次配管。配管前必须认真复核设备接口方位、规格、尺寸,采取先预制后安装的方法进行。
3. 洁净区管道要求
洁净区内的明装管道,表面要进行抛光处理,并用专属不锈钢管支座支撑
阀门不能用法兰阀门,应采用丝扣阀门,以便不积尘、易清洗
穿越洁净室墙、楼板、顶棚的管道应敷设套管,套管内的管段不应有焊缝、螺纹和法兰,管道与套管之间应有可靠的密封措施
六、系统调试与验收测试
1. 系统联合试运转
验收应在对各分部工程做外观检查、单机运转、系统联合试运转、空态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查记录审查合格后进行。
2. 外观检查要求
空气过滤器与风管连接及风管与设备的连接处应有可靠密封
净化空调器、静压箱、回风口无灰尘
洁净室的内墙面、吊顶表面和地面应光滑平整、色泽均匀、不起灰尘
送回风口及各类末端装置、各类管道、照明及动力线配管以及工艺设备穿越洁净室时,穿越处的密封处理应可靠严密
3. 性能测试项目
光电净化车间的验收检测结果应全部符合设计要求,检测项目包括:
通风机的风量及转速的检测
风量的测定和平衡
室内静压的检测调整
自动调节系统联动运转
空气过滤器的检漏
室内洁净度级别的检测
关键验收指标:
洁净度:一百级≥0.5μm尘埃颗粒数≤35颗/L;一万级≥0.5μm尘埃颗粒数≤350颗/L;十万级≥0.5μm尘埃颗粒数≤3500颗/L
室内噪声:单向流≤65dB(A),非单向流≤60dB(A)
室内压差:≥5~10Pa
温度:22℃±2℃
湿度:50%±5%
七、光电车间的特殊环境要求
1. 温湿度控制
光电净化车间对温湿度控制精度要求较高。温度一般控制在24±2℃,相对湿度为55±5%。对于精密光学加工,温湿度波动需进一步收窄。
2. 新风量要求
由于光电车间内人员较多,生产设备多,活动量大,需要较高新风换气次数:
非单向流净化车间总送风量的10%-30%
补偿室内排风和保持室内正压值所需的新鲜空气量
保证室内每人每小时的新鲜空气量≥40m³/h
3. 送风量计算
为满足无尘净化车间内的洁净度及热湿平衡,需要较大的送风量。以300平方米、吊顶高度2.5米的车间为例:
万级净化车间:送风量需300×2.5×30=22500m³/h(换气次数≥25次/h)
十万级净化车间:送风量需300×2.5×20=15000m³/h(换气次数≥15次/h)
4. 除静电要求
光电光学制品无尘车间除了要保证空气洁净度以外,还需保证达到除静电的要求。防静电地板的电阻值需控制在10⁴-10⁶Ω。

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