一、施工流程：从地基到验收，步步都是“毫米级”精度
- 前期准备：把好“基础关”
- 场地勘测得较真：地面平整度≤2mm/2m（差一点都不行），承重≥500kg/m²（光刻机超沉）；附近有地铁/公路？得做隔振处理，振动太大会影响光刻精度；还得防电磁干扰（EMI屏蔽），不然芯片容易被“电干扰”搞坏。
- 设计得按工艺来：光刻、蚀刻区要ISO 5级，部分区域得ISO 3-4级；气流用垂直单向流（风直直往下吹），换气次数50-60次/h；洁净区比外面气压高≥10Pa，风只能往里灌，外面的灰进不来。
- 材料全是“顶配”：墙面天花板用50-100mm厚岩棉夹芯彩钢板（表面PVDF氟碳漆，抗腐蚀还易擦）；地面要么2-3mm环氧自流平（耐磨系数≥200mg，随便踩），要么PVC防静电卷材（表面电阻10⁶-10⁹Ω，防静电解救芯片）；门窗用不锈钢/铝合金的，密封条耐老化，关得严丝合缝。
- 主体施工：龙骨和板子得“严丝合缝”
- 龙骨安装像搭“钢铁骨架”：镀锌C型钢龙骨间距400-600mm，水平度偏差≤3mm/2m，垂直度≤2mm/m，转角处加加固龙骨，不然板子会歪。
- 彩钢板挂装要“密不透风”：用专用挂钩或自攻螺丝固定，螺丝间距≤300mm；接缝处先打硅酮密封胶，再扣铝合金压条，阴阳角做R≥50mm圆弧（彻底消灭积灰死角），连灰尘都找不到地方藏。
- 地面处理是“镜面级”：环氧自流平分底涂、中涂、面涂，每道都得打磨平整；PVC卷材用热熔焊接，接缝宽≤0.5mm，跟没缝一样。
- 系统安装：空调和设备是“洁净核心”
- 空调系统“过滤到极致”：组合式空调机组（MAU）带初效（G4）、中效（F8）、高效（H14/ULPA）过滤器，末端配FFU风机过滤单元，0.3μm的粒子过滤率≥99.97%；温湿度死死卡在22±1℃、45-55%RH，差一点都报警，防静电还防微粒吸附。
- 气流得“乖乖听话”：垂直单向流风速0.3-0.5m/s，风均匀得像“水幕”，没涡流没死角；非单向流区顶送侧回，换气次数按等级来，空气每小时换几十遍，想脏都难。
- 设备安装“轻拿轻放”：光刻机、蚀刻机这些“娇贵货”得二次配管配线，用不锈钢波纹管或防静电软管；设备和彩钢板接缝处塞防火胶泥，一点风都漏不进去。
- 调试验收：数据说话，差一个粒子都不行
- 洁净度检测用激光粒子计数器，≥0.1μm、0.3μm、0.5μm的粒子都得测，ISO 5级动态下≥0.3μm粒子≤3520个/m³，多一个都算不合格。
- 微生物也得严控：浮游菌≤1 CFU/m³，沉降菌≤3 CFU/皿·4h，细菌想“混进来”没门~
- 压差、气流流型全得测：用烟雾测试看气流走得顺不顺，有没有短路；高效过滤器用PAO法检漏，漏一点就得换，绝不含糊。
二、关键技术：防尘、防静电、节能一个都不能少
- 防尘靠“三层过滤+全密封”
初效挡大灰、中效滤小尘、高效灭微尘，串联起来让空气“纯净到能喝”；施工人员穿无尘服、戴手套，工具清洁后才能进，物料经风淋室/传递窗消毒，连人带料都得“干干净净”；所有接缝、管道穿墙处全用密封胶/防火胶泥堵死，漏风=漏尘，绝对不允许。
- 防静电是“芯片的生命线”
地面墙面涂防静电涂层（表面电阻10⁶-10⁹Ω），设备接地电阻≤1Ω，静电全导走；人员穿防静电鞋、戴腕带，不然身上的静电分分钟击穿芯片；空调配除湿模块，湿度控在45-55%，静电想产生都难。
- 节能靠“智能+回收”
变频风机根据负荷调风量，节能30%+；热回收系统回收排风热量，效率50-60%，预热新风不浪费；LED灯照度≥500Lux还省电，智能系统跟着生产负荷调温调风，省钱又高效。
三、行业案例：国际大厂都这么干
- 台积电（TSMC）：搞ISO 3级（10级）洁净室，换气60次/h，地面环氧自流平+防静电涂层，空调热回收+变频风机，直接节能20%+。
- 英特尔（Intel）：用ULPA过滤器（效率≥99.999%），气流速度0.4m/s，地面PVC卷材热熔焊接，设备调平到振动≤2μm，精度细到头发丝的1/50。
- 三星（Samsung）：智能天车搬物料，减少人工污染；空调带AI算法，根据生产负荷动态调温调风，节能15%，还特智能。
总之，芯片车间净化施工就是“用纳米级精度做工程”，从材料到系统，从施工到验收，每一步都得抠细节，才能保住芯片的高良率。
清阳工程可承接江浙沪皖等地区十万级、万级、百级、千级等各种洁净度等级的无尘车间的设计装修建设，我们有着18年的装修历史，各项资质齐全，承接过近500项净化工程。
欢迎微信咨询客服；或拨打全国服务热线：18015531058
- 下一篇： 贴片净化车间（千级标准）的设计装修-清阳工程
- 上一篇：锂电池净化车间的设计装修-清阳工程
