设计规划
1. 明确需求：深入了解芯片生产工艺流程、产品特性及洁净度等级要求，这是确定车间关键参数的基础。例如高端芯片生产，通常要求达到ISO 5级（百级）甚至更高等级，意味着每立方米空气中≥0.5μm的颗粒物数量必须严格控制在3520个以下。精确的需求分析能为后续设计提供准确方向，确保车间满足生产需求。
2. 合理布局：依据需求分析结果，科学规划车间空间布局，合理划分生产区、质检区、仓储区、缓冲区等功能区域。合理布局可有效避免各区域间交叉污染，保障生产流程的顺畅与高效。
3. 气流组织设计：采用垂直层流方式，将换气次数控制在400 - 600次/小时，保证工作区域气流均匀稳定。良好的气流组织能有效排出尘埃和污染物，维持车间内的洁净环境。
材料选择
1. 墙面和天花板材料：选用彩钢板夹芯板或不锈钢板，这些材料不产尘、易清洁且耐腐蚀。安装时要确保接缝严密，减少缝隙，使用专业密封胶密封处理，并将拐角处做成圆弧形，避免积灰，从源头控制尘埃产生。
2. 地面材料：环氧树脂自流平地面或PVC地板是理想选择，它们具备耐磨、防静电特性，地面电阻值控制在10⁶ - 10⁹Ω之间，既能有效导走静电，又保障安全。这种材料能满足芯片生产对地面的严苛要求，减少静电对芯片的损害。
3. 门窗材料：采用密封性好的铝合金材料，尽量减少开启频率，推荐使用快速卷帘门或气密门，以增强车间密封性，防止外部污染物进入。
4. 其他材料：若使用木材，含水率不应大于16%，且不得外露，做好防腐防潮处理；若用石膏板，须选用防水石膏板。这些措施可避免因材料问题对车间环境造成不良影响。
施工安装
1. 组建施工队：组建具有洁净室施工经验的施工队伍，并进行技术交底和安全培训，确保施工质量与安全。专业的施工团队能准确理解设计意图，按照规范施工，保障项目顺利推进。
2. 基础施工：进行地面找平、墙面与天花板装修等基础工作，确保施工质量符合设计要求。所有材料进场前清洁处理，施工人员采取洁净措施，从施工源头减少尘埃带入。
3. 空气净化系统安装：安装过滤效率达99.97%以上的高效过滤器（HEPA）系统，合理配置初效、中效、高效三级过滤，延长高效过滤器使用寿命。合理布置送风口和回风口，避免涡流和死角，安装时注意风管密封性，防止漏风，为车间提供洁净空气。
4. 温湿度控制系统安装：依据生产工艺要求，安装恒温恒湿系统，将温度控制在22±1℃（或22±2℃），相对湿度控制在45±5%范围内。采用独立新风系统与空调系统结合方式，新风量不小于总送风量10%，保证每小时15 - 20次换气次数。配备专业加湿和除湿设备，特别是季节交替时密切监控，为芯片生产创造稳定温湿度环境。
5. 电气与自控系统安装：进行电气布线，安装照明、插座等电气设施，满足洁净车间防静电、防电磁干扰等特殊需求。控制系统实现自动化管理，包括温湿度控制、风量调节、过滤器压差监测及报警等功能。选用洁净室专用LED灯具，与天花板平齐安装，避免卫生死角，应急照明系统符合消防规范，确保断电时能立即启动。
6. 给排水和气体管道系统安装：管道穿越净化区域做好密封处理，防止外部污染物进入。纯水系统采用316L不锈钢管道，内表面粗糙度控制在Ra≤0.5μm；特殊气体管道根据气体性质选择合适材料，如半导体级不锈钢或特氟龙衬管。所有管道标明流向和介质名称，并设置过滤装置，确保管道系统安全、可靠运行。
7. 细节处理：对墙面、地面、天花板缝隙密封处理，防止灰尘和微生物进入；对灯具等设备防眩光处理，确保光线柔和；在关键工序区域设置离子风机，中和无法接地消除的静电，注重细节，提升车间整体环境质量。
运行维护
1. 制定维护计划：根据设备使用情况和厂家建议，制定合理维护计划，定期对设备清洁、消毒和维护保养。高效过滤器一般1 - 2年更换，初效过滤器每月清洗或更换，确保设备始终处于良好运行状态。
2. 环境检测：定期对车间洁净度、温湿度等环境参数检测，确保符合设计要求，建议每半年全面检测一次。及时发现环境参数异常，采取措施调整，保障生产环境稳定。
3. 人员管理：建立严格洁净室管理制度，规范人员进出、物料传递、设备维护等行为。工作人员穿戴防静电服、防静电鞋，通过手腕带接地；进入车间经过三级更衣（普通更衣→洁净更衣→风淋室），在风淋室充分吹淋去除微粒子，减少人员对车间环境的污染。
4. 物料管理：进入无尘车间的物料和设备经严格清洁和净化处理，小型物料通过带自净和紫外杀菌功能的传递窗进入，大型设备进车间前拆包预清洁。建立严格物料管理制度，对物料接收、存储、使用和处理等环节全程跟踪记录，确保物料符合车间环境要求。
通过以上各环节的严格把控，可打造出符合芯片生产要求的净化车间，为河南芯片产业发展提供坚实的环境基础。
清阳工程可承接江浙沪皖等地区十万级、万级、百级、千级等各种洁净度等级的无尘车间的设计装修建设，我们有着18年的装修历史，各项资质齐全，承接过近500项净化工程。
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