一、二次配工程的构成
（一）气体分配系统
1. 大宗气体系统：涵盖氮气、氩气、压缩空气等常用气体的供应体系。
2. 纯化系统：对相关气体进行纯化处理，以满足特定工艺对气体纯度的要求。
3. 气柜：其主要作用是为特殊气源提供精准的压力控制以及流量监控，确保气源稳定供应。
4. 分配系统：负责将气源顺利连接至气体汇总盘，实现气体的初步分配。
5. 多功能阀箱：从气源开始，将特殊气体分配至不同的设备终端，满足各设备对特气的需求。
6. 二次配阀盘/盒：专门针对半导体设备，将其所需气体从气源连接至设备端，并对气体压力进行相应调节，保证设备稳定运行。
（二）其他系统
1. 包含电力系统、PCW 系统（即工艺冷却水系统）、废排气系统、ROR 系统（也就是回收系统）、NG 系统（氮气系统）以及真空系统等。这些系统涉及的管道、阀门、仪表等设备的安装与测试工作，均属于二次配工程的范畴。通过对这些系统的合理构建与精准调试，确保整个无尘室净化车间各环节的稳定运作。
二、二次配工程的要点
（一）技术要领
1. 管道加工
- 管道切割与预制务必在洁净环境下开展，在切割前需仔细检查管道表面，确保无任何痕迹与破损。
- 在管道开封之前，要提前做好管内冲氮的各项准备工作。切割时，应使用不锈钢专用切割器，并以缓慢的速度进行操作。同时，顺着介质下流方向持续冲高纯氮气，有效防止切屑进入管内。
- 切割完成后，运用平口机对管道端面进行精细处理，彻底去除毛刺，随后再用高纯氮气进行全面吹扫，保证管道内部清洁。
2. 自动焊接
- 为强化焊接质量的管理力度，实现产品质量的可追溯性，每天在正式开展焊接工作前，焊工必须针对焊机所焊规格制作样本，以此检验自身焊接工艺水平。在每天焊接工作结束前，同样需要制作焊接试样。
- 所有焊接试样都要妥善保存，同时打印详细的焊接记录。这些试样与记录将作为质量检验的重要依据，并进行规范存档。
- 在焊接过程中，要对管道进行内外高纯氩气保护，建议所使用的高纯氩气纯度不低于 99.999%，从而确保焊接质量。
3. 管道与配件及设备连接安装
对于输送易燃、剧毒等特殊气体的双层管道，在与阀门、气表以及设备进行连接时，需采用世伟洛克金属垫片面密封接头（VCR）进行安装。其中，金属垫片选用柔性镍合金垫片，通过这种方式确保连接部位密封严密，防止气体泄漏。
（二）施工要领
1. 施工准备
- 必须充分清晰地了解一次配与二次配的界面范围，重点关注一次配预留点至工艺设备接入点这一区间。对一次配的了解程度，将直接对二次配的工程质量与施工进度产生影响。
- 在二次配工程启动之前，应依据二次配的实际需求，组织开展一次配的图纸会审工作。主要审查内容包括一次配的预留点数是否充足、接口管径是否符合要求以及位置分配是否合理等。
- 根据会审核查结果，及时向相关方进行反馈并推动修正工作。同时，着手进行二次配的初步方案设计，为后续施工提供科学合理的指导。
2. 施工管理
- 建立二次配进度定期会议机制，在会议中明确工艺设备的进场时间、定位时间，以及甲乙双方对已定位设备二次配点的确认时间。同时，确定每日需完成的已确定点位数量以及整体完成时间，还要明确二次配所需各种材料的到货时间等关键节点。
- 在芯片净化车间内，二次配施工的成品保护至关重要。应构建完善且有效的成品保护措施，避免二次施工对一次配工程造成破坏，全力保障工程整体质量。
- 进入洁净车间开展二次配施工时，施工人员必须严格遵循洁净室的管理规定，切实做到无尘化作业，维护车间的洁净环境。
（三）品控要领
1. 材料质量控制
严格筛选符合洁净室要求的管材、管件、阀门等各类材料，从源头上确保材料质量的可靠性，为整个二次配工程的质量奠定坚实基础。
2. 施工过程质量控制
针对施工过程中的各个关键环节，如管道加工、焊接、安装等，实施严格的质量把控措施。通过精细化管理，确保每个环节的施工质量都能符合预先设计的要求。
3. 成品保护
在二次配施工全过程中，要采取切实有效的成品保护措施。对已完成的工程部分进行妥善防护，防止因后续施工或其他因素导致已完工部分受到损坏，确保工程整体质量不受影响。
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