
关于特气站布置以及特气管路的二次设计,此类芯片生产车间需要运用特气。而特气站的配备以及特气输配管路的二次设计的优劣,会直接对二次配工程以及设备的调试作业产生影响。所以,有必要提前展开特气站以及输配管路的二次设计工作。
1 特殊管路重点关注
1.1 SUS304BA 管 由于此类管路主要被用于输送高纯气体以及特殊气体管路,因此必须严格依照施工工法来进行施工操作。采用轨道氩弧焊机,并在焊接之前进行焊接式样,以此确保焊接的质量达到高标准。同时,焊接设备还应当具备备用措施,以确保在焊接高峰期能够满足工期的需求。
1.2 PVDF 管 此类管路主要用于高纯水的配送,对工艺生产有着极为严重的影响。而此类管路的连接主要依靠专用红外焊机来进行焊接。操作人员必须经过专业培训后方可上岗作业,以切实保障焊接质量。同时,在焊接完成之后应当进行相应的试验,确保管路的清洁度达到要求。
1.3 双层管 此类管路主要用于排放化学品废液,因此其施工必须经过专门的培训,并且在施工完成后进行相应的试验,确保做到零风险。
1.4 SCH80 PVC 管 此类管路主要用于输送酸碱溶液。因此,其粘接的可靠性对于酸碱液的排放来说至关重要,应当重点对其施工要点进行专业培训。
2 特殊配件的备货 由于芯片车间的工艺设备大部分为进口的旧设备,其接口形式多种多样,而且部分配件存在丢失或者脱落的情况,需要重新进行配备。
比如常用的接口形式为焊接、法兰、VCR、卡套等连接形式,但是,也存在 ISO 法兰连接、PVDF/PFA 转换接头等形式,这些配件有些还需要进口,有时会因为某个配件数量不足而对工程进度产生影响。因此,在充分了解此类工艺设备的情况下,需要针对各种连接形式的配件进行充足的备货准备,以切实保障二次配工期的顺利推进。
3 充分了解一次配二次配的界面范围 主要是一次配预留点至工艺设备接入点。因此,对一次配了解的深度和全面性会直接对二次配的质量和进度产生影响。在二次配开始之前,应当根据二次配的需求组织开展一次配的图纸会审工作,主要核查一次配的预留点数是否充足,接口管径是否能够满足要求,位置分配是否合理等。
同时,应当根据核查的结果进行及时的反馈和修正,并进行二次配的初步方案设计。设计的主要内容涵盖管材管件的精心选择、管路的合理空间布局、控制阀门的科学设置、计量设备的准确设置等等。在确定好初步方案之后,以便进行各类阀门、管件的备货工作。
4 建立二次配进度定期会议 由于工艺设备具有可计量性,点位也具有可确定性,因此二次配的进度一般来说主要以点位来计算。在召开定期会议时主要包含以下几个关键要点:(1)工艺设备的进场时间以及 MOVE IN 时间和定位时间;(2)甲乙双方对已定位设备二次配点的确认时间;(3)确定好的点位每日完成的数量以及完成的具体时间;(4)二次配各种材料的到货时间。基于以上这几个时间点,对于二次配的进度起着决定性的作用。
5 建立行之有效的安全、质量、环境管理体系 在洁净室内,二次配施工的成品保护显得尤为重要,一次配已经完成,应当建立完善的成品保护措施,确保二次施工不会对一次配造成破坏,有力保障工程的质量。洁净室环境已经构建完成,因此,进入洁净室进行二次配施工应当严格遵守洁净室的管理规定,做到无尘化作业。只有成功建立起行之有效的安全、质量、环境管理体系,才能够有力确保二次配工作的顺利开展。

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