由人员导致：
人员的活动会生成皮屑、头发、口腔飞沫等颗粒物，这些颗粒物数量众多并且直径大多小于 10 微米，很容易通过空气的流动附着在晶圆的表面。
人员所穿着的服装和鞋袜或许带有灰尘、纤维等污染物。
人员的呼吸也会向空气中释放大量的水滴和微小颗粒。
由设备导致：
生产设备在运行的时候，像是进行金属切削、机械摩擦等操作，会产生金属粉尘、摩擦粉尘等颗粒物，这些颗粒物的直径通常小于 0.5 微米，会给晶圆的表面带来潜在的污染。
设备中运用的溶剂、腐蚀剂等化学物质在加工的过程中可能挥发到空气中，形成挥发性有机化合物(VOCs)，对车间的环境造成污染。
设备在传输晶片的过程中的接触或者机械振动也有可能产生颗粒。
由环境导致：
空气中的灰尘、液滴、病菌等微小颗粒也有可能进入洁净室，这些颗粒或许来源于建筑围护结构、设施的产尘，例如墙、顶棚、地面和裸露管线的产尘。
洁净室的空气循环系统也可能引入外界空气中的微粒。
由工艺过程导致：
在芯片的制造过程中，比如膜层沉积、药液清洗等步骤里，反应气体、清洗液体中可能含有微小颗粒，这些颗粒会吸附在晶片的表面。
制程反应室壁的脱落、制程过程中的化学反应等也可能产生颗粒。
清阳工程可承接江浙沪皖等地区十万级、万级、百级、千级等各种洁净度等级的无尘车间的设计装修建设，我们有着17年的装修历史，各项资质齐全，承接过近500项净化工程。
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