对于半导体fab车间来说，基本不存在不是无尘室的情况，因为半导体产品对于生产环境的要求实在是太高了。那么半导体fab无尘室的具体作用是什么呢？
1、防止 wafer 被污染。通常而言，半导体 fab 制造的产品线宽均处于 nm 级别，根本无法承受任何细微的尘埃、微生物或者其他污染物的影响。故而，需要有无尘室，从而进一步对环境中的污染物加以控制，保证生产环境的清洁程度。
2、把控湿度与温度。无尘室能够对湿度和温度予以控制，这对于半导体制造流程中的化学反应和物理过程极为关键。某些过程对于环境条件极为敏感，需要进行精准的控制。再次，降低静电。静电会对半导体芯片上的微小电路造成损害。无尘室通过对环境的控制以及使用抗静电材料来减少静电的产生。然后，提升生产效率。于无尘室中，生产过程能够更为稳定且具有可预测性，减少了因环境因素所导致的生产中断以及质量控制方面的问题，进而提高生产效率。
3、保护工作人员。无尘室不但能保护半导体产品不被污染，同时也能保护工作人员免受有害化学物质和工艺的影响。那么，无尘室究竟是如何运行的呢？半导体洁净厂房通常采用垂直单向流的方式，借助推出作用将室内被污染的空气排至室外，以此实现净化室内空气的目的。
洁净室空气净化主要分成三个阶段。
其一，运用初中效过滤器展开预处理。通过空调对温湿度进行控制，同时借助其中搭载的过滤器对从室外进入室内的新风实施预处理，拦截空气中常见的大颗粒物。此环节的设备处于洁净室物理隔离层壁板的外部，预处理完毕的空气会进入洁净室壁板的内部。
其二，使用风机过滤单元进行深度过滤。风机过滤单元位于洁净室的内部，遍布于洁净室物理隔离层内部的顶端，针对第一阶段预处理后的空气中尚未处理的其他细微颗粒物、气态分子污染物、微生物做进一步的处理，以达到半导体生产车间对空气极高的净化等级要求。
其三，内部空气持续循环。洁净室内部的空气循环净化，回风经由高架地板及回风夹道，被送至风机过滤单元（包含高效/超高效过滤器、化学过滤器等）重新过滤后再送入洁净室内重复使用。
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