光学超净间实验室设计的注意事项如下:
1、洁净度等级要求通常为万级、千级、百级或更高。
2、温度控制范围:20℃至25℃,温度波动度:±0.5℃、±0.2℃、±0.1℃或更高。
3、湿度控制范围:30%RH 以下、30%至 45%RH、45%至 55%RH、55%至 65%RH,湿度波动度:±5%RH、±2%RH 或更高。
4、具体洁净度、温湿度的技术指标如何确定,我们能够依据高精密的仪器设备、实验样品、实验系统流程、实验数据可靠性验证等方面进行考量,最终确认实验室的洁净度、温湿度的技术指标。
5、其他的设计注意事项
(1)微震动:一般的中小型仪器设备,采用光学平台即可满足隔离地面震动的要求,若是大型装置,则需要做独立的隔振基础。
(2)风速:地面的震动能够采用地面隔振的方式进行处理,然而在超净实验室中的震动源往往不单是地面带来的,还有实验室内的气流带来的。所以,我们在建设超净室的时候还要对工作面风速提出要求,一般而言工作面风速<0.25m/s 即可满足要求。要求高的实验室可以提出更低的工作面风速的要求。
(3)地面防静电要求:抗静电、静电耗散、导静电,通常来说抗静电即可满足使用要求。如果是较为惧怕静电的实验室,则需要做到静电耗散或导静电。
(4)独立接地电阻:有一些精密仪器可能会有独立接地电阻的要求,根据仪器的要求,一般为小于 4Ω、小于 1Ω或更高要求。
(5)工艺冷却水:倘若有设备需要散热,那么就需要配置工艺冷却水,一般工艺冷却水的温度要求为 18±1℃。
(6)气路系统:根据实验需求,有的实验会用到气路系统,根据实际使用会有压缩空气或特殊气体。
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