1.布局规划：布局应合理且简洁，规避交叉往复，同时满足生产工艺与卫生要求。依据不同工艺要求划分不同洁净等级的区域，诸如生产区、辅助区、动力设备区、物流与仓储区等，以降低交叉污染的风险。明确人流和物流通道，保证生产流程紧凑、高效。
2. 设计规划：按照半导体生产的不同阶段和工艺要求，确定适宜的洁净等级，通常在 ISO1 级至 ISO7 级不等。例如，关键的半导体生产过程或许需要 ISO4 级或更高等级的洁净环境。还要精准把控车间的温度和湿度，以保障生产环境的稳定性。
3.材料选择：拣选符合净化要求的材料，例如耐磨、防静电、防腐蚀、防爆等。地面可选用防静电、无缝、易清洁的材料，如环氧树脂自流平地面；墙面和天花板应选取平整、易清洁、不易脱落的材料，如不锈钢板或特殊处理的石膏板；门窗需采用无尘车间专用的密封门和观察窗，确保优良的密封性能和透明度。
4. 空气净化系统：配置高效的过滤器，如 HEPA（高效空气过滤器）和 ULPA（超高效空气过滤器），有效去除空气中的微粒。安装空气处理单元（AHU）来调节空气温度和湿度，保证洁净室内环境稳定。通过正压控制维持无尘车间内的正压状态，防止外部污染物侵入。
5. 施工质量控制：确保施工人员历经洁净室操作培训，熟知施工要求。施工材料应洁净并检查，不携入额外污染物。施工过程中需专人监督，保证施工质量契合洁净室标准。
6. 照明设计：选择适配车间需求的照明设备和灯具，避免运用产生过多热量和灰尘的照明设备，同时要易于清洁和维护。提供充足的照明强度，确保均匀、稳定、无闪烁。照明系统应具备防静电功能，避免静电对半导体生产造成影响。
7. 设备布局：合理分隔设备和工作区域，确保设备之间有充裕空间进行维护和清洁。考虑工作流程和材料流动，避免交叉污染和灰尘传播。
8. 墙面装修：采用防静电、防潮、防霉、易于清洗的油漆或涂料做内墙，颜色应简约，规避复杂图案。
9. 送风管和灯具安装：送风管和灯具布置于技术夹层里，送风口和灯具的布置要合理，避免直吹和眩光。
10. 门窗设计：密封性要好，防止室内外温差产生结露。门窗与墙面应平整，不易积尘。
11. 智能化管理：可集成环境监测系统和智能管理系统，实时监测厂房内部的温湿度、尘埃粒子数等参数以及设备运行状态，达成智能化的环境控制和管理，提升运行效率和管理水平，降低能源消耗和运行成本。
12. 安全管理：遵循相关的规范和要求进行布局设置，如“建筑设计防火规范”和“洁净厂房设计规范”，确保消防控制室、消防水泵房等安全设施的设置。
另外，半导体净化车间的装修费用会受到众多因素的影响，涵盖车间规模、洁净度等级、设备要求、材料选择以及地区等。不同项目的预算要求或许不同，通常费用较高。依据一些参考资料，30 万级~10 万级净化车间的装修费用约为 1000~2000 元/㎡，万级洁净车间在 1500~2500 元/㎡，但此价格仅供参考。
清阳工程可承接江浙沪皖等地区十万级、万级、百级、千级等各种洁净度等级的无尘车间的设计装修建设，我们有着17年的装修历史，各项资质齐全，承接过近500项净化工程。
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