1、设计标准
晶圆洁净车间的设计需要根据具体的生产工艺和设备来进行。设计时需要考虑空气流动、温度、湿度、照明、静电、防尘、通风等因素。
2、洁净度标准
晶圆洁净车间的洁净度指的是空气中的颗粒物浓度，一般要求在ISO14644-1标准的5级别以上。同时，车间内还要进行定期的洁净度检测和验证。
3、空间布局
晶圆洁净车间需要被分为几个区域，例如：进出口区、净化区、设备操作区、物料存放区、人员更衣室等。这些区域的布局要合理，符合工艺流程，并且保证不同区域的洁净度不会相互污染。
4、空气过滤系统
确保车间空气中的微粒和有害物质不会影响生产。因此，晶圆洁净车间需要安装高效过滤系统。通常，车间内的空气需要通过一系列的过滤器，包括初效、中效、高效和超高效过滤器，最终达到洁净度要求。
5、设备选型
合适的设备对于晶圆洁净车间的建设至关重要。设备需要符合车间的洁净度要求，并且要能够适应工艺流程。此外，设备的维护保养也需要考虑到。
6、人员培训
建设晶圆洁净车间不仅是设备和布局的问题，也涉及到人员的培训。对于车间人员来说，他们需要了解车间的洁净度标准，掌握操作流程，以及如何维护洁净环境。
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