因为微电子、光电子等电子工厂高级别洁净室的净化送风量大，工艺设备的排风量大，新风量大，温湿度精度很高，所以净化空调消耗的能量很大，运行费用很高。也就是说这种电子高级别洁净室在使用过程中有着巨大的耗电量，设备越多耗电量越多，设备的精准性要求越高耗电量越高，而这种车间都占全了。但是呢，这种车间如果没有这些设备生产就没办法顺利进行，产品的质量也没办法的到保证，所以即便运行费用高，也必须使用。
举个例子，深圳的超大规模集成电路前工序生产中心洁净室面积1万平方米，其净化送风量为六百四十万m3／h，送风的风机耗电量为3840 kW，全年电费为1659万元（每度电按0．6元计），空调的热湿处理耗电量为8000kW，全年电费为3456万元。全年净化空调的电费加在一起为5115万元。折合每平方米面积一年的电费为5115元／m2．年；而上海的TFT基板生产线800 m2，光净化空调系统全年耗电高达1060 kW（其中：风机耗电300 kW，空气热湿处理耗电760 kW）；全年电费高达460万元，折合每平方米面积每年的电费为5750元／m2·年。
由以上，我们就能明白，像这种高级别的电子工厂的洁净室为了保证室内的温、湿度和洁净度，其净化空调系统的能耗是很高的，通常情况下，单位面积一年的电费就高达5000元／m2·年～6000元／m2·年。可见净化空调的运行费用很高。
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