电子厂高级别无尘车间的造价主要涉及到两大部分的费用，一个就是建筑装修的费用，也就是墙顶地面门窗以及配备的净化空调系统等的费用，这个费用也就是所谓的初始费用，这个一般找专业的装修公司会提供报价，可能不同的公司报价会存在着区别，但是有一点要清楚，一分价钱一分货，切不可只追求低价，无尘车间的质量才是更重要的，还有装修公司的服务那些也要考虑到。另外一个费用是纯水、废弃排放、消防、供配电等这些系统的费用。
一般来说，4级（10级）、5级（100级）垂直单向流洁净室，其室内的建筑装修（墙、顶、高架地板、门窗等），净化空调系统（制冷和空调设备、净化FFu、管道、配件、自控等）加起来的初投资大约为15000元／m2-20000元／m2，如果加上纯水制备、纯水系统、高纯气系统、废气排放系统、废水排放系统、消防系统、供配电系统、真空清扫系统等设备和管线，其单位面积的初投资可高达30000元／m2-40000元／m2。
举个例子，2000年建成投产的深圳某超大规模集成电路前工序的洁净室来说，其8时园片的月投片为3万片，中心部分洁净室面积为1万平方米。其中3级（1级）、4级（10级）垂直单向流净化面积为四千平方米；6级（1000级）、7级（10000级）非单向流净化面积和六千平方米。总净化送风量为6,400，000 m3／h。除土建以外的初投资约六千万美元，折合每平方米面积的初投资为六千美元／m2。
再比如2008年竣工投产的上海某TFT基板生产线，洁净室共八百平方米。其中3级（1级）洁净室两百平方米，4级（10级）洁净室六百平方米，除土建结构以外洁净室的建筑装修、冷冻、空调、净化、纯水、纯气、废水、废气、供配电、自控等设备及管线的总投资为三千二百万元，折合每平方米面积的初投资约四万元／m2。
由以上的两个例子可以看出，电子厂高级别的无尘车间造价是一笔很大的投资，主要投资费用在装修的材料和设备上，不同级别不同产品的无尘室造价也存在着区别。
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