一、空气净化系统：洁净度的核心保障
1. 高效过滤器检漏：阻断微粒入侵的最后防线
- 检测方法：
采用PAO气溶胶法（上游发尘浓度0.1-0.3mg/m³），用光度计在高效过滤器下游扫描（扫描速度≤5cm/s），泄漏率需≤0.01%（单个漏点面积≤0.01㎡）。
- 超标处理：
轻微泄漏（≤0.05%）可涂专用密封胶（如硅酮密封剂）；严重泄漏需整体更换过滤器，重新安装时确保液槽密封液深度≥8mm（无气泡）。
2. 风量平衡与换气次数：气流的“动态平衡术”
- 调试步骤：
1. 用热线风速仪测量每个送/回风口风速（取3次平均值），计算实际风量；
2. 通过风阀调节，使各区域风量偏差≤±10%（如设计风量1000m³/h，实际需在900-1100m³/h）；
3. 验证换气次数：ISO 5级（百级）≥300次/h，ISO 6级（千级）≥60次/h，ISO 7级（万级）≥30次/h。
- 压差控制：
洁净区对非洁净区≥10Pa，高等级区对低等级区≥5Pa（如百级对千级），通过“送风量=回风量+排风量+正压风量”公式调节，用精度±0.1Pa的压差传感器连续监测24小时，波动需≤±1Pa。
3. 气流流型：让微粒“定向移动”
- 单向流验证：
用烟雾发生器在百级区上游释放烟雾，观察气流是否呈垂直活塞流（风速0.36-0.54m/s），无横向扩散；在工作台面10cm处测量风速，均匀度需≥0.8。
- 乱流优化：
千级/万级区需确保气流无死角，烟雾测试显示回风口能有效捕捉污染气流（距墙面≤0.5m的区域需覆盖），避免设备下方形成涡流。
二、温湿度与防静电：电子元件的“环境保镖”
1. 温湿度精准调控
- 温度调试：
目标值20-25℃（±2℃），在设备密集区（如焊接机、烤箱）增设测点，用热成像仪检测局部热源，通过调整空调送风口角度（30°-45°倾斜）消除热点，确保全车间温差≤3℃。
- 湿度控制：
相对湿度40-60%（±5%），针对电子车间冬季干燥特性，用露点传感器联动蒸汽加湿器（加湿量精度±5%），避免湿度低于40%导致静电累积；夏季通过冷冻除湿+转轮除湿组合，控制露点温度≤16℃（防止结露）。
- 动态验证：
模拟生产状态（设备全开启、人员正常作业）连续监测48小时，记录温湿度波动曲线，确保极端工况下仍能达标。
2. 防静电系统全面检测
- 接地电阻测试：
地面、工作台、设备外壳接地电阻需≤1Ω（用4线法测量），接地网各点间电阻差≤0.5Ω，确保静电快速导出。
- 表面电阻验证：
防静电地板、台面电阻需在10⁶-10⁹Ω（用阻抗仪在500V电压下测量），每10㎡设1个测点，不合格区域需重新接地或涂防静电涂层。
- 离子平衡测试：
离子风机在30cm工作距离内，平衡电压需≤±35V，衰减时间（1000V→100V）≤2秒，确保能快速中和静电（尤其芯片存放区）。
三、洁净度与微生物：用数据证明“无尘”
1. 粒子计数检测
- 采样方案：
按ISO 14644-1标准，采样点数量N=√A（A为车间面积），每个点采样体积≥1m³（百级区需≥5m³），采样时间≥1分钟。
- 合格标准：
洁净等级 ≥0.5μm粒子（个/m³） ≥5μm粒子（个/m³）
ISO 5级（百级） ≤3520 ≤29
ISO 6级（千级） ≤35200 ≤293
ISO 7级（万级） ≤352000 ≤2930
- 动态测试：
模拟人员走动、物料运输、设备运转等工况，连续8小时监测，粒子浓度需稳定在静态值的2倍以内（超标的需优化气流或增加换气）。
2. 微生物控制（针对有生物洁净要求的电子车间）
- 沉降菌测试：φ90mm培养皿在工作台面暴露30分钟，菌落数≤10CFU/皿；
- 浮游菌测试：用撞击式采样器采集1000L空气，菌落数≤5CFU/m³，确保无微生物腐蚀电子元件。
四、系统联调与验收：确保长期稳定运行
1. 自动控制系统联动测试
- 功能验证：
测试BA系统的自动调节能力：
- 粒子浓度超标时，自动提升换气次数（响应时间≤5分钟）；
- 压差异常（偏离设定值±2Pa）时，联动风阀调节送风量；
- 突发断电后，备用电源（蓄电池）自动切换（切换时间≤0.5秒），保障关键设备供电。
- 应急响应：
模拟过滤器阻力超标、风机故障等场景，验证报警系统（声光+短信通知）的及时性，确保30分钟内有人响应。
2. 72小时连续运行测试
- 记录关键参数：洁净度、温湿度、压差、能耗（每小时1次），计算波动系数（≤5%为合格）；
- 测试结束后再次检测高效过滤器泄漏率（确保系统运行无松动），粒子浓度需与初始值偏差≤10%。
3. 验收交付标准
- 提交完整文档：过滤器检漏报告、风量平衡表、粒子计数原始数据、系统联动逻辑图；
- 第三方检测：由CMA认证机构出具检测报告，所有项目需符合GB 50073-2013及客户工艺要求；
- 运维培训：教会客户团队日常监测（如用便携式粒子计数器抽检）、过滤器更换周期判断（阻力达初始值1.5倍）等技能。
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