洁净领域探索者

18015531058

新闻资讯

联系我们

    公司总部:江苏总部:昆山市张浦镇海尚商务广场10F 河南分部:郑州市经开区航海东路1394号富田财富广场3号楼913室

    工厂地址:江苏昆山市张浦镇沪光路102号

    电话:0512-57991272

    电话:0512-57995651

    电话:0512-57995653

    电话:0512-57995673

    网站:www.ksqingyang.com.cn

电子无尘车间

您当前的位置:首页 > 新闻资讯 > 资讯动态

电子厂净化车间施工-清阳工程

发布时间:2026-01-06 17:23:19

电子厂净化车间作为半导体、精密电子元件生产的核心载体,其施工质量直接决定产品良率与可靠性。需在ISO 14644-1与GB 50472-2008框架下,融合空气净化、防静电、微环境控制等多学科技术,实现从微米级颗粒控制到纳米级工艺适配的全维度保障。施工过程需像"外科手术"般精细,每个环节都需平衡技术规范与工程可行性。


 
一、施工全流程管控体系
 
1. 前期准备:净化施工的"无菌操作"起点
 
- 现场洁净化预处理:
- 土建验收后,用HEPA过滤器吸尘器彻底清扫(≥3次),墙面地面用去离子水擦拭
- 设置三级隔离区:材料堆放区(ISO 9级)→加工区(ISO 8级)→洁净施工区(ISO 7级),各区设风幕隔离
- 人员准入:施工人员需经风淋(≥30秒),穿戴无尘服(发尘量≤0.5个/分钟)
- 技术准备的精准度控制:
- 三维激光扫描:建立场地BIM模型,精度达±2mm,排查与设计图纸的偏差
- 材料验证:彩钢板需提供耐盐雾测试报告(≥500小时无锈蚀),过滤器需附DOP检测证书
- 施工模拟:通过CFD软件预演气流组织,优化风管走向与风口布局(避免涡流区)
 
2. 主体施工:分系统的精度控制
 
(1)围护结构安装技术
 
- 彩钢板施工:
- 选用50mm硫氧镁夹芯板(双面0.426mm镀锌钢板),燃烧性能A1级,安装前需在洁净区开箱
- 固定方式:暗藏式龙骨连接(避免外露螺丝积尘),垂直度偏差≤3mm/2m,平面度≤2mm/2m
- 接缝处理:内侧用食品级硅酮胶(宽度5-8mm,表面平滑),外侧打密封胶形成"双密封"
- 特殊部位处理:
- 阴阳角:R50mm氧化铝圆弧过渡(与墙板同材质),确保气流顺畅
- 穿越孔洞:管线穿墙处用"套管+密封垫",缝隙≤0.5mm,防火封堵采用膨胀防火密封胶
 
(2)地面系统的防静电技术
 
区域类型 地面材料 施工关键控制点 性能指标要求
光刻核心区 2mm环氧防静电自流平 铜箔网格(600×600mm),多点接地(≤1Ω) 表面电阻10⁶-10⁹Ω,耐磨≥3.0L/m㎡
封装测试区 PVC防静电卷材 接缝热熔焊接(温度180±5℃),焊接强度≥90%基材 体积电阻10⁷-10¹⁰Ω,防滑系数≥0.6
技术夹层 全钢防静电高架地板 支架接地(每块地板独立接地),水平度≤1mm/2m 承载≥1500N,系统电阻10⁶-10⁸Ω
 
- 施工流程:
基层打磨(Ra≤3.2μm)→ 涂刷导电底漆 → 铺设铜箔 → 刮涂防静电中涂 → 镘涂防静电面涂 → 养护72小时(温度≥20℃)
 
(3)空气净化系统的无菌化施工
 
- 风管制作安装:
- 材料:304不锈钢(厚度≥1.0mm),氩弧焊焊接后电解抛光(内壁Ra≤0.8μm)
- 清洁度控制:
焊接后用纯水+专用清洁剂循环冲洗 → 内窥镜检查(无可见杂质) → 密封待安装(端口用HEPA过滤器封堵)
- 保温:B1级橡塑棉(厚度20mm),接缝用铝箔胶带密封(搭接宽度≥50mm)
- 过滤器安装技术:
- 高效过滤器(H14级):
风管吹扫24小时(风速≥10m/s)→ 液槽密封(硅胶液深度≥8mm)→ DOP检漏(泄漏率≤0.01%)
- FFU安装:与吊顶龙骨刚性连接,运行噪声≤55dB(A),风速均匀性偏差≤±10%
 
(4)电气与防静电系统
 
- 接地系统:
- 采用TN-S系统,独立接地极(铜包钢φ20mm),接地电阻≤0.5Ω(用四极法测量)
- 接地网络:60×6mm紫铜带环车间一周,与各设备接地端子连接(螺栓≥M8)
- 静电消除设备:
- 离子风机:每2m²配置1台,平衡度±30V(30cm处),响应时间≤1.0秒
- 防静电工作台:台面电阻10⁶-10⁹Ω,配腕带接口(每工位1个)
 
3. 调试与验收:数据驱动的达标验证
 
- 空气动力调试:
- 风量平衡:各风口风量偏差≤±5%(用热线风速仪测量)
- 压差梯度:
ISO 5级区→ISO 6级区→ISO 7级区→非洁净区,每级压差递增10Pa(用微压差计,精度±0.1Pa)
- 自净时间:ISO 5级区≤15分钟(发烟测试,粒子浓度从10⁶降至3520个/m³)
- 综合性能检测:
检测项目 标准依据 合格指标 检测工具
悬浮粒子 GB/T 16292-2020 ISO 5级:≥0.5μm≤3520个/m³ 激光粒子计数器(0.1μm分辨率)
温湿度 GB 50472-2008 22±0.5℃,45±5%RH 温湿度记录仪(精度±0.1℃,±1%RH)
静电电压 SJ/T 10694-2006 接触电压≤50V,感应电压≤100V 静电电压表(量程0-1000V)
振动 SEMI F21 1-100Hz振幅≤0.5μm 激光测振仪
 
二、关键技术难点与解决方案
 
1. 洁净度不达标的根源控制
 
- 常见问题:
- 施工残留:风管内焊渣、密封胶颗粒(占污染原因的40%)
- 气流短路:回风口布置不合理,形成局部涡流
- 解决方案:
- 风管安装后用机器人清扫(带HEPA过滤器的吸尘器)
- 通过CFD模拟优化送回风口位置(送风口覆盖率≥60%)
 
2. 防静电系统失效的预防
 
- 隐患点:
- 接地端子松动(电阻随时间增大)
- 防静电地面磨损导致电阻超标
- 控制措施:
- 接地连接点采用防松螺母(涂螺纹胶),每月用毫欧表检测
- 地面施工增加1mm耐磨层(含碳化硅骨料),定期打蜡养护
 
3. 温湿度波动的精准调控
 
- 技术方案:
- 采用"风冷冷风型"恒温恒湿机组(精度±0.1℃,±1%RH)
- 增设独立除湿段(转轮除湿),应对梅雨季高湿度(室外≥90%RH)
- 风管设静压箱(消声+均流),避免风速突变导致的温湿度波动
 
三、质量控制体系与合规管理
 
1. 过程质量的三级管控
 
- 班组自检:
每道工序完成后,用自检表逐项核查(如彩钢板垂直度、焊缝质量)
- 监理巡检:
关键节点(如过滤器安装、接地测试)旁站监督,留存影像记录
- 第三方检测:
施工中期进行风管漏风率测试(≤0.5%)、接地电阻复测
 
2. 文档追溯系统
 
- 建立"材料-施工-检测"全链条档案:
- 材料证书(出厂检测报告、合格证)
- 施工记录(隐蔽工程验收单、工序交接表)
- 检测报告(第三方出具的洁净度、静电等检测数据)
 
3. 行业合规要求
 
- 需通过的认证:
- ISO 14644-1洁净度认证(按设计等级)
- SEMI S2设备安全认证(针对半导体车间)
- GB 50591-2025施工验收规范
 
电子厂净化车间施工的核心是"微米级精度控制"与"系统性洁净保障"。从不锈钢风管的电解抛光到防静电地面的铜箔网格,每个细节都需技术规范与工匠精神的结合。建议选择具备电子行业净化施工甲级资质的团队,通过BIM技术预演施工流程,将潜在风险消除在前期阶段。最终交付的不仅是符合标准的物理空间,更是能支撑电子产品长期稳定生产的"环境基础设施"。



清阳工程可承接江浙沪皖等地区十万级、万级、百级、千级等各种洁净度等级的无尘车间的设计装修建设,我们有着18年的装修历史,各项资质齐全,承接过近500项净化工程。
欢迎微信咨询客服;或拨打全国服务热线:18015531058
下一篇: led净化车间设计装修价格-清阳工程
上一篇: 电子厂净化车间定制-清阳工程

苏公网安备 32058302003190号