一、设计阶段要点：为高质量车间奠定基础
洁净度分级
依据生产工艺的精确需求，清晰确定车间的洁净度等级，如ISO 5级、ISO 6级等，并参照ISO 14644 - 1标准，合理划分不同功能区域，像核心区与支持区。不同的生产工艺步骤对环境洁净度要求各异，明确的等级划分和区域规划能确保各生产环节在适宜的环境中进行。
流线布局
按照生产流程精心规划人流与物流路径，确保单向流动，最大限度降低交叉污染风险。对于核心区，如光刻区，需采用单向流设计，将风速精准控制在0.45 ± 0.1m/s（垂直流）或0.35 ± 0.1m/s（水平流），保证空气的定向、稳定流动，为高精度生产提供洁净的空气环境。
模块化与标准化
采用模块化设计，例如预制FFU集成天花，这种方式能够有效缩短工期，提高施工效率。同时，标准化设计有助于保证产品质量的一致性，便于后期的维护和管理。
防微震设计
在放置精密设备的区域，要采用浮动地板（振动频率 < 2Hz，振幅 < 1μm）或主动减震平台。集成电路生产设备对震动非常敏感，微小的震动都可能影响产品的精度和质量，因此有效的防微震设计至关重要。
二、材料选择要点：满足集成电路生产特殊需求
金属壁板
选用304或316L不锈钢板作为金属壁板材料，其厚度≥0.6mm，以保证结构强度。接缝处使用硅胶密封，该硅胶需具备耐酸碱性能，且VOC释放量 < 0.1mg/m³，防止因化学腐蚀和挥发物影响车间环境。
地面材料
可选择环氧自流平（厚度≥2mm，抗静电电阻1×10⁶ - 1×10⁹Ω）或PVC卷材（接缝热焊处理）。同时，地面坡度设计要满足排水要求，坡度≥1%，确保地面无积水，避免因潮湿影响生产设备和产品质量。
防静电措施
所有金属构件必须接地，接地电阻 < 4Ω，工作台面表面电阻控制在10⁴ - 10⁶Ω。集成电路生产中，静电可能对电子元件造成损害，良好的防静电措施是保障生产顺利进行的关键。
高效过滤器
在ISO 5级及以上区域的终端过滤采用HEPA，而在ISO 3级区域则使用ULPA。并且，需定期对过滤器进行检漏，采用PAO测试确保泄漏率 < 0.01%，保证空气过滤效果，维持车间的高洁净度。
三、施工阶段要点：确保车间建设质量
主体结构施工
1. 首先要保证地基平整、坚实，这是无尘车间建设的稳定基础。只有地基稳固，才能确保后续建筑结构的安全性和稳定性。
2. 依照施工图纸搭建钢构架，严格把控结构的稳定性和安全性，确保车间能够承受各种荷载和环境条件。
围护结构安装
1. 在钢构架基础上安装墙面、顶面彩钢板，构建无尘车间的主体结构。彩钢板的安装要牢固、平整，确保车间的密封性和保温性。
2. 对墙面与顶棚交接处的阴角、阳角进行弧形或圆弧形过渡连接处理，这样不仅美观，还能减少灰尘积聚，便于清洁。
门窗安装
1. 根据设计要求精确安装门窗，以确保无尘车间的密闭性和防尘效果。门窗是车间与外界的重要分隔，良好的密闭性可有效防止灰尘、污染物进入。
2. 在人员入口设置风淋室，风速≥20m/s，吹淋时间≥15秒，对进入人员进行净化处理。物料则通过传递窗或自动装卸系统进行处理，避免物料携带污染物进入车间。
洁净管道系统施工
1. 安装送风管道、排风管道等，构建完善的空气流通系统，保障无尘车间的空气流通和洁净度。管道的布局和设计要科学合理，确保空气流动顺畅。
2. 对管道内壁进行电解抛光，使表面粗糙度Ra≤0.25μm，并保证氦检漏率 < 1×10⁻⁹Pa·m³/s，确保管道的洁净和无泄漏。
电气系统施工
1. 安装照明系统、温度控制系统等，为无尘车间的正常运行和人员舒适度提供保障。照明要充足且均匀，温度控制要精确。
2. 在电气线路布线时，要避免交叉干扰，将强弱电分开布置，确保电气系统的安全和稳定运行。
空调系统施工
1. 安装空调系统，精确控制无尘车间内的温度为22 ± 1℃，光刻区更是要求±0.5℃，相对湿度保持在45 ± 5%。适宜的温湿度环境对集成电路生产至关重要，直接影响产品质量。
2. 保证新风量≥15%总送风量，在维持车间正压的同时，降低VOC浓度，使TVOC < 100μg/m³，为生产提供清新、健康的空气环境。
地面施工
在无尘车间内铺设环氧自流平地面或PVC防静电地板，这两种材料具有防静电、防滑、耐磨、易清洁等特点，满足集成电路生产对地面的特殊要求。
四、污染控制要点：打造洁净生产环境
人员污染控制
1. 实施办证制度，对进入净化厂房的施工人员进行全面培训，只有培训合格并佩戴胸牌的人员方可进入。通过培训，使施工人员了解车间的洁净要求和操作规范。
2. 明确规定人流路线及方向，设置专用净化小室，供出入人员进行人身净化，如更换无尘服、洗手、风淋等，减少人员带入的污染物。
物流污染控制
1. 设置专用搬入口，所有物料在进入前必须进行清洁处理，去除表面的灰尘和杂质。
2. 在搬运过程中，要避免产生粉尘，尽量使用不产尘的包装材料，防止物料运输过程对车间环境造成污染。
净化阶段划分
1. 一般水平污染控制阶段：完成防尘涂装、空调机组安装等工作，每周进行一次整体清扫，初步控制车间内的污染水平。
2. 较高水平污染控制阶段：进行格栅吊顶施工、电气接线等工作，设置专门清扫员负责工作面清扫，进一步提升车间的洁净程度。
3. 高水平污染控制阶段：安装FFU和高效过滤器，使用纯水或酒精擦拭，确保测试质量，使车间达到高洁净度标准。
五、验收与维护要点：保障车间长期稳定运行
验收标准
1. 空气净化水平、噪音控制、照明、设备质量等各项指标都必须达到预期要求。这些指标直接关系到车间是否能够满足集成电路生产的高标准需求。
2. 使用粒子计数器进行检测时，采样量≥28.3L/min，采样点按公式N = √A（A为洁净室面积）布置，以确保检测结果准确反映车间的洁净度情况。
后续维护
1. 定期对生产设备进行全面检查和维护，及时更换过滤器等易损件，保证设备始终处于良好运行状态。
2. 制定合理的清洁计划，选用不产生尘埃及有害物质的清洁剂和清洁工具，保持车间的洁净环境。
3. 建立完善的监测制度，定期对空气质量、噪音、照明等参数进行检测和分析，根据检测结果及时调整维护措施，确保车间环境始终符合生产要求。
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