
一、洁净室防静电的必要性
1. 保护产品:静电放电(ESD)就像个“隐形杀手”,可能会把微电子器件、集成电路这些精密产品给损坏了,让它们性能下降,甚至完全没法用。
2. 保障设备安全:静电还可能导致设备出现故障或者误操作,这生产效率可就大打折扣啦。
3. 人员安全:静电放电的时候,说不定还会引发电击,对人员造成伤害,这可不是小事儿。
4. 环境安全:要是在易燃易爆的环境里,静电可能就会“点燃”危险,引发火灾或者爆炸,后果不堪设想。
二、洁净室防静电的具体要求
1. 地面材料
- 导电或防静电地板:它的电阻值一般得在10^6Ω至10^9Ω之间,这个范围既能把静电顺利泄放掉,又不会因为电阻太低而发生漏电的危险。
- 接地系统:地板得和接地系统紧密相连,这样才能保证静电能有效地被泄放出去。
2. 墙面与顶面材料
- 防静电墙面与顶面:得用防静电涂料或者防静电板材,而且它们的电阻值得符合标准要求。
- 接地处理:墙面和顶面同样要和接地系统连接起来,让静电无处可藏。
3. 人员防静电
- 防静电服:工作人员必须穿上防静电工作服,它的电阻值通常也在10^6Ω至10^9Ω之间。
- 防静电鞋:脚上还得穿着防静电鞋,这样才能保证人体的静电能顺利泄放。
- 防静电手环:要是操作精密设备,那就得戴上防静电手环,并且把手环和接地系统连接好。
4. 设备与工具防静电
- 防静电包装:对于精密设备和元器件,得用防静电包装材料来包装,给它们提供一层保护。
- 防静电工具:操作工具也得有防静电功能,像防静电镊子、防静电螺丝刀等等。
- 设备接地:生产设备也得和接地系统相连,确保静电能及时被导走。
5. 环境控制
- 湿度控制:相对湿度一般要控制在40%至60%这个区间。湿度太低容易产生静电,太高又可能影响设备性能,所以这个度得把握好。
- 离子风机:在一些关键区域得设置离子风机,它能把空气中的静电给中和掉。
三、洁净室防静电的实施措施
1. 设计阶段
- 防静电系统规划:在设计洁净室的时候,就得把防静电系统好好规划一下,像接地系统怎么设计、选什么样的防静电材料等等,都得提前想好。
- 分区设计:根据对静电的敏感程度,把洁净室划分成不同的防静电区域,然后针对每个区域采取合适的措施。
2. 施工阶段
- 防静电材料安装:要保证防静电地板、墙面和顶面材料都正确安装,并且和接地系统连接牢固。
- 接地系统施工:接地系统得符合国家标准,它的电阻值一般要小于4Ω。
3. 调试与验收阶段
- 防静电性能测试:得用电阻测试仪这类设备,来测试防静电材料的电阻值

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