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电子洁净厂房的微振方案-清阳工程

发布时间:2025-03-25 16:55:30

在现行国家标准《电子工业洁净厂房设计规范》GB50472 里,针对微振控制作出了一系列规定。洁净厂房微振控制设施的设计需分阶段推进,涵盖设计、施工以及投产等各个阶段,具体包括微振测试、厂房建筑结构微振控制设计、动力设备隔振设计以及精密仪器隔振设计等内容。
 
一、有微振控制要求的洁净厂房设计要点
 
1. 在进行结构选型、设置隔振缝,以及处理壁板与地面、顶棚的连接处时,都必须依据微振控制要求展开设计。
 
2. 对于洁净室以及周围辅助性站房内存在的强烈振动设备及其连接管道,必须采取主动隔振措施,以减少振动影响。
 
3. 需要明确洁净厂房内外各类振源,对洁净厂房内精密设备、精密仪器仪表所处位置的综合振动影响程度,据此来判断是否要采取被动隔振措施。
 
二、精密设备与仪器仪表容许振动值的确定
 
精密设备、精密仪器仪表的容许振动值,原则上应由生产工艺和设备制造部门提供。若生产工艺和设备制造部门难以提供该容许振动值,那么可参照《隔振设计规范》GBJ 22 来执行。
 
三、精密设备与仪器仪表被动隔振设计的必备条件
 
1. 掌握周围振源对其产生综合影响的振动数据,这是进行有效隔振设计的基础。
 
2. 明确设备、仪器仪表的型号、规格以及轮廓尺寸图,以便精准设计隔振方案。
 
3. 了解设备、仪器仪表的质量、质心位置以及质量惯性矩,这些参数对于隔振设计至关重要。
 
4. 知晓设备、仪器仪表的底座外轮廓图、附属装置、管道位置,以及坑、沟、孔洞尺寸,还有地脚螺栓及预埋件位置等详细信息,确保隔振设计与设备实际情况相契合。
 
5. 清楚设备、仪器仪表的调平要求,这关系到设备运行的稳定性和隔振效果。
 
6. 明确设备、仪器仪表的容许振动值,以此作为隔振设计的重要依据。
 
7. 掌握所选用或设计的隔振器或隔振装置的技术参数、外形尺寸以及安装条件,保证隔振装置能够正确安装并发挥作用。
 
四、精密设备与仪器仪表被动隔振设计的考虑因素
 
1. 重视隔振台座的刚度,合适的刚度有助于提高隔振效果。
 
2. 考虑设备、仪器仪表运行过程中,因质量及质心位置变化而导致隔振台座倾斜的校正措施,确保设备始终处于稳定状态。
 
3. 保证隔振系统各向阻尼比不小于 0.15,有效抑制振动。
 
4. 确保隔振措施不会对洁净室内的气流流型造成影响,维持洁净室的正常环境。
 
五、精密设备与仪器仪表的被动隔振措施建议
 
针对精密设备、精密仪器仪表的被动隔振,建议优先采用能够自动校正倾斜的空气弹簧隔振装置。同时,对于供应空气弹簧所需的气源,必须进行净化处理,以保障隔振装置的稳定运行和隔振效果。



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