不同等级的电子无尘车间以及洁净区，与非洁净区之间的压差，应当大于或者等于 5 帕斯卡，而洁净区与室外的压差则应大于等于 10 帕斯卡。与之相反的是，在工艺过程中会产生大量粉尘、有毒物质、易燃以及易爆物质的工艺区域，其操作室与其他房间之间应当保持相对负压的状态。
鉴于在净化空调系统当中，过滤器阻力会发生变化，并且室内可能存在排风柜进行排风操作，所以，要维持一定的正压就必须配备相应的有效措施和精准控制。通常情况下，会利用余压阀、回风口阻尼层，以及通过手动或者自动控制回风阀的方式来维持室内的正压。对于一般的空调房间，维持室内正压的渗出风量与各风量 L 之间存在着这样的关系：L 渗(正压)=L 送 - L 回 - L 局排。正压渗透风量可以依据房间结构的密封性能来加以确定（即每米缝隙在特定压差下通过的风量），一般而言，可以按照房间换气次数 2 至 6 次/小时来进行取值。然而，由于电子无尘车间房间在建筑方面比较严密，并且对正压的要求极为严格，所以采用余压阀或者差压式电动风门调节阀会更为可靠。
电子无尘车间正压的控制方式以及其特点如下：
回风口或支风管上装调节阀
特点：其结构相对简单，成本较为经济；但调节的精确度不算很高，适用于各种各样的电子无尘车间，其中最好使用对开式多叶调节阀。
回风口装空气阻尼层
特点：结构简便、经济实惠；能够起到一定的过滤作用；室内正压会有一定程度的变化，会随着阻尼层阻力逐渐增加而有所上升。仅仅适用于走廊或套间回风的方式。阻尼层通常使用厚度为 5 至 8 毫米的泡沫塑料或者无纺布制作，一般 1 至 2 个月需要清洗一次，以保证室内正压不会过高。
余压阀
特点：具有较高的灵敏度，安装过程简单；但在长期使用后，可能会出现关闭不严的情况，如果余压阀完全关闭时，室内正压仍然低于预定值，那么就无法实现有效的控制。一般设置在电子无尘车间下风侧的墙上。
差压式电动风量调节器
特点：灵敏度高、可靠性强；不过设备相对复杂，主要用于控制回风阀和排风阀。当正压低于或者高于预定值时，能够自动调节回风阀或者排风阀，使室内正压保持稳定。
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