这种做法的主要优点是能够避免送风在输送过程中受到再污染，确保洁净室的洁净度。同时，高效过滤器在此位置也能够更好地发挥其过滤性能，去除空气中的尘埃粒子和其他污染物。
此外，在一些特殊情况下，如需要二级高效过滤器处理或首端HEPA失效会危及到产品质量时，也可以在AHU送风段设置一道高效过滤器，但这将增加工程的投资费和运行费用。
高效过滤器设置位置的确定通常需要考虑以下因素：
1. 空气流动稳定性：选择空气流动稳定、不受污染源影响的区域，确保过滤器能够发挥最佳的过滤效果。
2. 洁净室级别：根据洁净室的洁净度要求，确定高效过滤器的设置位置和数量。通常，高效过滤器设置在净化空调系统的末端，以确保送风质量。
3. 系统风量：根据系统风量选择合适的过滤器型号和尺寸，确保其性能匹配。
4. 安装与维护：考虑高效过滤器的安装、更换和维护的便捷性。例如，在机房集中更换过滤器可能更为方便，而在洁净室内更换则可能需要考虑更多的洁净措施。
5. 避免再污染：确保高效过滤器的设置位置能够避免送风在输送过程中受到再污染。
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