（1）管材性能比较
选择管材的主要依据在于管道的溶出物以及内表面光洁度。主要应用的管道包括 Clean-PVC 管、洁净 PP 管、PVDF 管几种。Clean-PVC 管通过耐冲击硬质聚氯乙烯制造，其相比普通 PVC 管包含较少的添加剂。由此降低了管道内壁的粗糙度（Clean-PVC 管的表面粗糙度小于 0.37μm，而普通 PVC 管的表面粗糙度在 1.0μm）以及污染物的析出量。洁净 PP 管的材质为(β)-PP-H 均聚型聚丙烯，具备十分均匀、致密的结构以及出色的抗冲击强度。其高结晶度确保了极为卓越的耐化学品性能，二氧化钛色素的运用进一步提升了此特性。其内壁粗糙度及污染物的析出性能与 Clean-PVC 相近。PVDF 管的材质为聚偏二氟乙烯，属于一种高结晶度、高性能的热塑性塑料，适用的温度/ 压力范围广泛。其主要特性为力学强度高、韧性优良、拥有杰出的耐磨性、热稳定性和介电性，纯度颇高，能够熔融成型，对于大多数化学品和溶剂都具备良好的耐腐蚀性，抗紫外线和核辐射性能出色、耐候性良好、能抵御生物菌类的影响、气体和液体阻隔性佳、阻燃性良好、发烟量少等优点。聚偏二氟乙烯是一种纯净的材料，不含任何添加剂，并且其表面光滑，粗糙度小于 0.2μm。
（2）纯水管材的选择
类似于 6 英寸半导体前工序、TFT-LCD 的水质，可以选择 Clean-PVC 管或洁净 PP 管。Clean-PVC 管自 80 年代就应用于半导体行业，当下在纯水中获得了广泛运用。其优势在于因得到了广泛应用，所以供应商都存有一定量的库存，故而交货周期较短，安装技术也相对简单，通常进行半天的教室和现场培训即可。其劣势在于管道的粘结和安装质量。这也是众多半导体厂中存在大量 PVC 管道系统失效和漏水问题的缘由。PVC 管路系统失效主要是粘结质量不佳所致，PVC 的连接方式主要是胶水粘接，这要求胶水能使粘接部位的表面软化，软化部位随后被压紧，它的粘接质量与操作人员的技术关联极大，而且不同的人以及不同部位的粘接质量一致性极差。粘接要求有充足的胶水被涂抹并且均匀性要求极高，管路和管件的粘接部位要极为干净且光滑，并且管路需要完全地插入管件。然而由于插入粘接的特性，实际粘接部位是不可见的，缺陷或许存在，并将给整个系统带来巨大风险。由于 PP 是热熔焊接的，所以不存在 PVC 那样令人担忧的沾污，比如粘接溶剂和其他有机溶剂等在 PVC 管道中频繁使用的稳定剂。而这些粘接剂及有机溶剂会引发有机物沾污（TOC）。另外，PP 管道的红外热熔焊接采用计算机控制，避免了人工操作的质量参差不齐，并能够对焊点进行 100%的检查。这使得 PP 管道相较于 Clean-PVC 在安装质量上更具保障。但是 PP 管道在管路/管件的价格及安装费用上要高于 Clean-PVC。依据英特尔遍布全球的封装测试厂的报告，每年都有大量的 PVC 管路系统失效和漏水问题，失效由多种原因导致，其中包含不恰当的粘接、缺少支撑、安装过程中没有对准引发的冲击等等。因此在英特尔新建的封装测试厂已开始广泛采用洁净 PP 管替代 Clean-PVC 作为首选管材。类似于 8 英寸半导体前工序或更高水质要求的以 PVDF 管道为主。8 英寸半导体对纯水水质指标的要求极其严格，Clean-PVC 及洁净 PP 已无法满足其需求，而 PVDF 管道的溶出物及管道内壁光洁度都远超 Clean-PVC 及洁净 PP，所以只能选择 PVDF 管道。在国内的半导体生产中也有 8 英寸采用 Clean-PVC 管道的成功案例，但经过实测分析后发现，这类生产厂的产品皆是从 6 英寸升级至 8 英寸的，也就是在 6 英寸纯水管道系统运行若干年后升级为 8 英寸的，而 Clean-PVC 管路系统经过长时间运行后，其溶出的离子呈现逐步减少的趋势。以某电子厂为例，一期厂房纯水系统未设置专门的除 TOC 紫外线灯，仅依靠制备过程中对 TOC 的去除，在运行了若干年后，其回水管道 TOC 能够达到 15ppm，而二期新建的纯水系统，设置了专用的除 TOC 紫外线灯，在系统开始运行阶段的站房出口 TOC，也仅有 50 ppm。正是由于这种特性，所以纯水系统在投产前需经过相当长时间的冲洗运行。所以在从 6 英寸升级到 8 英寸的生产中，经过若干年冲洗的 Clean-PVC 管道也是有达到使用要求的可能。而 PVDF 管道能够在短时间内冲洗到较低的指标。为了节省初投资，纯水回水管道可以采用 Clean-PVC 或者洁净 PP 管代替 PVDF，由于纯水回水需经过抛光系统的再次处理，所以即便回水中有较多的溶出物也不会影响供水的水质，只是会影响抛光系统的维护费用，但长时间运行后维护费用的差别会逐渐减小。
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