1、准备阶段隔振措施
在洁净厂房中，振源与精密设备及仪器应进行分类集中、分区布置，以便实现分开分类隔振。通过让振源与精密设备及仪器相互远离，利用振源振动沿建筑物地基及结构构件传递衰减的效应，来降低振源振动对精密设备及仪器的影响。当在楼层布置精密设备及仪器时，其位置适宜安排在梁、墙、柱等结构刚度较大的部位或者附近。以微电子工业洁净厂房为例，大多采用所谓的三层结构。
在厂区内，道路主干线不宜设置在精密厂房和实验室的周边。在精密厂房和实验室周围的道路，宜加固路基后采用柔性路面，比如采用混凝土内掺有废轮胎粉碎的橡胶块的路面或者沥青路面，让路面具备一定的弹性消振作用；同时，对行驶车辆要严格控制行车速度和载重。在厂区内，精密厂房和试验室周边的绿化，不宜种植高大、粗壮的树木，以免在飓风摆动时连同树根一起造成不利的振动影响。
2、主动隔振与被动隔振
在洁净厂房的厂区内所设置的各种类型的公用动力设备等振源，如果有可能对洁净厂房内有防微振要求的精密设备及仪器产生振动影响，那么应当对公用动力设备采用主动隔振措施，或者对精密设备及仪器采取被动隔振措施。
（1）主动隔振通常被定义为为减小动力设备等产生的振动对外界环境的影响而对其采取的隔振措施，有时也称为主动隔振措施。例如通风空调管道，振动较大，往往成为洁净厂房内的主要振源之一。对于敷设为水平向的管道宜采用悬挂式，竖直向管道宜采用支承式，管道穿墙处宜采用支承式隔振措施。另外，管道与设备、管道与支承结构的连接（如风管与静压箱或高效过滤器的连接）应采用柔性连接。
动力设备如冰机、风机、水泵、板式换热器、一般厂务设备等一切会自身产生振动的大型机械，宜采用在钢筋混凝土浇筑的基础之上。通过基础特有的结构性与刚性来降低振动的频率。
（2）被动隔振的定义为为减小环境振动对精密设备及仪器的影响，对精密设备及仪器采取的隔振措施。被动隔振的形式应根据具体工程的厂房建筑结构、精密设备类型来选择。通常精密设备的被动隔振设施大体可有两种类型：一是与建筑结构相结合的方式，精密设备与隔振器不直接连接，中间设置在现场制作的结构物；二是系列隔振台、座产品，此产品为工厂化生产（精密设备自带），带有整套空气弹簧隔振器，台座有平板式或桌式，但因承载能力较小主要用于小型精密设备、仪器的隔振。由于动力设备与厂区周围环境较为复杂，对于动力设备和人员活动产生的振源大小难以判断，常常对传递末端如精密设备和仪器采用被动隔振措施。特别在微电子厂房、半导体厂房的设备采用 foundation 来进行隔振。
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