电子制造业洁净室的特点
一、洁净度等级要求颇高，风量、温度、湿度、压差、设备排风需依照需求受到控制，照度、洁净室截面风速依照设计或规范被掌控。另外，此类洁净室对静电的要求极为严格。其中对于湿度的要求更是突出。因为在过于干燥的厂房内极易产生静电，致使 CMOS 集成受损。通常而言，电子厂房的温度宜控制在 22℃上下，相对湿度宜控制在 50 - 60%之间（特殊洁净车间有着相关的温湿度规定）。此时能够有效地消除静电，并且让人也感觉舒适。
二、芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间属于电子制造行业洁净室的重要构成部分。由于电子产品在制造、生产过程中对于室内空气环境和品质的要求甚为严格，主要以控制微粒和浮尘为重点对象，同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的限定。1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级（空态）：不应大于 65dB。2、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于 60%，水平单向流洁净室不应小于 40%，否则就属于局部单向流了。3、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于 10pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于 5Pa。4、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的更大值：（1）补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。（2）保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40ｍ³。（3）电子制造行业洁净室净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，在寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量，应取下面三项中的更大值：保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量；根据热、湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量；向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量。
