由设备引发的污染源：生产设备于运行期间会释放出颗粒物，像是金属切削时形成的金属粉尘、机械摩擦时产生的摩擦粉尘等等。这类颗粒物会直接对无尘车间的空气造成污染。
部分生产设备所运用的化学物质，例如溶剂、腐蚀剂等，在加工之时也许会挥发至空气中，使空气中的挥发性有机化合物（VOCs）含量上升，给车间环境带来污染。
由人员引发的污染源：人员于车间内活动时，会生成各类大小不一的颗粒物，比如皮屑、头发、口腔飞沫等，这些颗粒物会成为空气中的污染源头。
人员所穿着的服装和鞋袜或许含有灰尘、纤维等污染物，伴随着人员的活动而散布至空气中。
由材料引发的污染源：在电子制造的过程中所使用的一些原材料，诸如粘合剂、涂料等，可能包含挥发性物质，于生产进程中挥发出来从而污染车间环境。
在运输和储存过程中所运用的包装材料，例如纸箱、塑料袋等，可能残留有灰尘、纤维等污染物，在开箱使用时释放到空气中。
由外部空气引入的污染源：在某些情形下，倘若无尘车间的密封性欠佳或者过滤系统不够完备，外部空气中的污染物（如 PM2.5 颗粒物、细菌、病毒等）也有可能被带入到无尘车间内部。
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