在太阳能电池制造领域，为追求卓越的产品良率，多数工厂倾向于使用千级（ISO6）无尘车间。为实现这一目标，MAU（新风处理机组）与FFU（风机过滤单元）的结合成为主流选择，其显著特点是洁净室上方形成了一层稳定的静压风层。
 
为了降低运行成本，一个有效的策略是采用PTFE HEPA替代传统的玻纤HEPA。PTFE HEPA因其低空气阻力特性，能够节省高达40%的能源，同时允许MAU风机在较低的额定压力下运行。
 
在光伏行业中，大开间洁净室设计（常被称为ballroom结构）十分常见。然而，为了进一步优化暖通成本，baychase结构也备受青睐。这种设计将工艺设备置于万级（ISO7）洁净区域，即“灰区”或“维修区”，而与硅片直接接触的“生产区”则维持千级洁净标准。为应对PECVD（等离子体增强化学气相沉积）开腔PM（工艺维护）的需求，“灰区”内可设置灵活移动的微环境工作罩（minienvironment），配备灵活的排风系统。这种设置显著降低了PECVD工艺设备对整体厂务环境的要求，进而减少了生产成本。
 
洁净车间内不同区域可根据实际需求设定不同的温湿度和正压控制目标。例如，在PECVD“灰区”进行开腔PM时，腔内残留的高能聚合物可能与空气中的水分迅速反应产生酸雾，对设备和车间造成腐蚀。通过降低该区域的湿度，可以有效减轻这种危害。对于湿法设备的“灰区”，可采用正压对外、负压对内的压差控制策略，防止酸碱化学品因饱和蒸气压而自挥发扩散，从而降低厂务端的排风负荷。此外，PECVD和PVD所使用的干泵可单独置于一个外部房间，进行简易净化和温控处理，无需高成本的除湿措施，这不仅能大幅减轻主体洁净室的污染，还能降低整个洁净室的热负荷，显著减少暖通系统的运行成本。


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