一、定义与目标
洁净室系统工程是指为了满足生产、实验或生活场所的洁净要求，结合实际情况，设计、建造和维护各种洁净设备和系统的过程。主要目标是提供满足洁净度要求的洁净空间环境，以保证产品质量和生产工艺的顺利进行。
二、设计概述
尺寸布局：根据洁净室的用途和要求确定尺寸布局，确保设备和人员能够顺畅进出，并且保证洁净室内空间的有效利用。
净化级别：根据工艺要求和环境要求确定洁净室的净化级别，常见的包括ISO5、ISO6、ISO7和ISO8等级别。每个级别对应不同的空气洁净度标准，如ISO5级别对应每立方米空气中直径大于0.1微米的粒子数量不超过10个。
通风系统：设计通风系统，确保洁净室内空气流通畅顺，并且满足洁净室内空气质量的要求。通风系统应包括送风、回风和排风等部分，通过合理的气流组织，实现室内空气的均匀分布和有效净化。
过滤设备：选择适合的过滤设备，如初级过滤器、中效过滤器、高效过滤器和超高效过滤器等，确保洁净室内的颗粒物浓度满足要求。高效过滤器通常用于最后一级过滤，能够去除空气中的微小颗粒物，保证洁净室的空气质量。
管道布置：根据工艺流程和设备布局，合理布置管道，确保洁净室内的气流畅通。管道系统应具备良好的密封性和耐腐蚀性，以防止污染物泄漏和腐蚀损坏。
三、施工准备
确定施工方案：根据设计方案和要求确定洁净室系统工程的施工方案，包括施工流程、施工方法、施工技术等。
编制施工计划：根据施工方案编制施工计划，确定施工的时间节点和工作内容，确保施工进度和质量。
设备和材料准备：根据施工计划准备施工需要的设备和材料，包括工程设备、施工工具、材料等，确保施工能够顺利进行。
四、施工实施
基础施工：包括洁净室的地面、墙面、吊顶等基础施工，确保基础结构的坚固和密封性。
通风系统安装：安装送风机、回风机、排风机等通风设备，并连接相应的管道系统。
过滤设备安装：安装各级过滤器，确保过滤设备的正确安装和有效运行。
管道系统安装：安装管道系统，并进行密封性测试和调试。
电气系统安装：安装洁净室所需的照明、电源、控制系统等电气设备。
五、验收与维护
验收：在洁净室系统工程完工后，进行系统的验收工作，包括洁净度测试、管道系统测试、电气系统测试等，确保系统满足设计要求。
维护：定期对洁净室系统进行维护，包括更换过滤器、清洁管道系统、检查电气设备等，以确保系统的正常运行和长期稳定性。
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