洁净度要求很高：半导体生产对空气中的尘埃、微生物等污染物有极高的敏感度，因此无尘车间的洁净度要求极高。车间内通常会设置多级过滤系统，如高效空气粒子过滤器（HEPA）和超高效空气粒子过滤器（ULPA），以去除空气中的微粒和微生物。
正压控制：通过控制车间的正压差，防止外部空气和颗粒物进入车间。这可以通过使用压差控制系统、密封门窗等方式实现。
温湿度控制：根据半导体生产工艺的要求，控制车间内的温度和湿度。通常会安装空调系统、加湿器、除湿器等设备，以维持适宜的工作环境。
地板材料选择：选择易清洁、防尘、防静电的地板材料，如环氧地坪，PVC地板，对于百级净化车间会需要铺设高架地板，以便于维护和清洁车间。
设备布局：根据不同设备的使用频率和工序之间的依赖关系，合理安排设备的位置，减少工序之间的交叉污染。
微环境隔离：在超大规模半导体集成电路的洁净厂房中，一般会选用微环境，把加工工艺核心区隔离，在微环境的隔离区内达到所规定的空气洁净度等级和环境控制规定（如温度、湿度、压力等）。
工作区域划分：生产车间通常包括工作区域、公共设施区和服务区。工作区域是由人和/或自动处理设备对晶片开展加工的区域，为保障作业区域内产品免被污染，一般选用单向流或微环境把人和露出的产品隔离。 公共设施区是设定晶片生产设备无操作人员的接口部分，此区域内所开展的作业通常不露出于生产环境中。服务区是既无产品又无生产设备的区域，一般接近工作区域和公共设施区。
总之，集成电路半导体的生产车间（净化车间）是一个高度洁净、严格控制环境参数、设备，布局合理的特殊生产环境，以确保半导体产品的质量和生产效率。
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