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电子半导体无尘室如何控制AMC?-清阳工程

发布时间:2024-03-19 16:46:02

在微电子半导体制造业中,那些悬浮在空气中的分子污染物,通常被称为气态分子污染物(AMC),它们会侵蚀半导体晶体的表面,导致氧化和损害,造成产品良品率的大幅下降,这无疑是电子半导体无尘室控制的重要的环节。

对于微电子制造业而言,那些弥漫在空气中的有害物质,对生产车间和产品构成严重威胁,是导致成品良率降低的罪魁祸首,它们被冠以分子级污染物或气态分子污染物(AMC)的称谓。分子污染物的大小与颗粒污染物相比,简直是微不足道,两者之间的数量级差异显著,因此即便是高效过滤器(HEPA)或超高效过滤器(ULPA)也对其束手无策。

随着半导体制程技术的日新月异,芯片线宽已经迈入了纳米级的门槛,这使得对半导体产品生产环境的要求变得愈发严苛,微电子厂房内分子级空气污染的控制问题也日益凸显出其重要性。

对于AMC的控制,我们主要采取以下三种策略:
一、源头治理:消除污染源。这需要我们全面评估洁净室内外的空气质量,以便准确识别潜在的污染气体及其浓度;
二、通风环节的优化:引入清新的空气。通过选择适宜的过滤器,我们旨在有效去除污染气体;
三、深度净化:利用物理或化学手段对污染物进行彻底清除。这包括吸附、吸收以及化学吸收等多种方法。

物理吸附,它是指一种物质被另一种物质所吸引,并紧紧附着于其表面的过程。活性炭正是运用了这一原理,有效去除污染物。吸附作为一种表面现象,其效果与表面积的大小密切相关,表面积越大,吸附能力自然越强。然而,物理吸附也有其局限性,如易饱和,且吸附过程是可逆的,即在吸附其他物质时,可能会将已经吸附的物质重新释放。
化学吸附则是污染物与吸附剂中的化学物质发生化学反应,从而达到去除污染物的目的。华净滤料正是运用了这一原理,实现了高效的污染物去除。化学吸附的过程非常独特,它主要取决于吸附剂与被吸附物的化学性质。这一过程通常速度较快,且是不可逆的,能够将有毒有害气体通过化学反应转化为无害的固体物质。 清阳工程可承接江浙沪皖等地区十万级、万级、百级、千级等各种洁净度等级的无尘车间的设计装修建设,我们有着17年的装修历史,各项资质齐全,承接过近500项净化工程。
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