在晶圆厂中，由于生产过程的特殊性，对洁净室的要求非常高。常用的洁净室等级主要是ISO标准中的5-8级。其中，5级洁净室用于生产高集成度、高速率的器件等高质量产品；6级洁净室主要用于生产高频器件和器件封装；7级洁净室主要用于生产CMOS MEMS芯片、结构芯片等；而8级洁净室则用于生产一些相对较不要求洁净度的器件。
不同等级的洁净室在洁净度要求、空气中允许的颗粒数量、风速等方面都有严格的规定。例如，ISO标准中5级洁净室对空气中≥0.1微米的颗粒数要求为3520个/立方米，而8级洁净室的要求则为3520000个/立方米。随着洁净室等级的升高，对洁净度的要求越来越严格，允许的颗粒数量越来越少，同时风速也会有一定的变化范围。
洁净室广泛应用于半导体生产、生物制药、精密仪器、食品加工等领域。在晶圆厂中，洁净室是半导体生产的重要环节之一，其内部环境对生产产品的质量、可靠性和产量都有着至关重要的影响。因此，选择适合生产需求的洁净室等级非常重要。
总的来说，洁净室等级是评价洁净室内部环境质量的关键指标，不同等级的洁净室在各方面都有不同的要求。在实际应用中，需要根据具体的生产需求和产品质量要求来选择合适的洁净室等级。
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