
对于高敏感度的先进电子产品,任何微粒污染都是不可接受的。因为微芯片上的微小尘埃有可能带来巨大的破坏。污染物导致的损坏每年会给电子制造商带来数百万美元的损失,甚至可能导致他们失去重要的ISO体系认证,并引发严重的负面宣传。
因此,建立电子洁净室是必要的,它能有效防止高精度电子产品受损。同时,电子制造商必须保证其生产空间的清洁,以确保产品的完整性。除了控制空气中的颗粒数量和大小以防止不可逆的损坏外,电子洁净室系统还能满足防静电的要求。此外,电子产品的处理和存储也需要洁净室。
根据不同的应用,电子洁净室将满足特定的洁净度要求。电子洁净室必须符合两个标准:
FED STD 209E:该标准根据标准单位(气体积单位为ft3)定义空气中悬浮颗粒物的浓度。FS209E包含六个等级:1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,其中1级为“干净”,100000级为“脏”。
ISO 14644-1:该标准根据标准单位(空气体积单位为m3)定义了空气中悬浮颗粒的浓度。ISO 14644-1有九个等级,ISO 1是“干净”的,ISO 9是“脏”的。
这两个标准都根据洁净室空气中发现的颗粒数量对洁净室进行分类,可以互换使用。例如,ISO class 3大约等于FS209E class 1,而ISO class 8大约等于 FS209E class 100,000。需要去除的颗粒物水平取决于客户设定的标准。
除了粒度和浓度标准,还有一些标准需要考虑:
温度标准:22℃是电子电路的安全温度
湿度标准:18-55%是理想的湿度范围
差压标准:压差从15Pa到45Pa
电子洁净室应用
随着电子工业对产品品质和工艺可靠性的要求日益提升,保持清洁的环境变得尤为重要。这需要在制造、处理、加工以及存储过程中都维持高度的洁净度。因此,洁净室技术在光学和电子行业中发挥着越来越关键的作用。
在电子工业中,需要洁净室的细分领域广泛,包括但不限于半导体制造、板材制造、光纤生产、晶圆运输、真空室、干燥剂、无ESD晶圆和芯片存储、紫外线敏感过程、EUV研究、真空镀膜、印刷、面罩矫正器、硅片和基板的封装等。
洁净室的设计与建造涉及多个步骤:
初步咨询:专家将对需求进行综合评估,并确定所需的空气质量水平。
工程设计:经验丰富的员工将提供必要的CAD图纸,以确保设计的准确性和可行性。
制造:制造过程将严格遵循您的确切规格和预算限制。
安装:可以选择由专业人员进行整个系统的安装,或者获得专家的指导和支持。
认证和测试:所有产品都将经过测试,以确保符合政府和行业标准。
维护:根据您的需求定制可选的维护服务,包括年度维护合同,以确保洁净室的持续高效运行。

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