装修时需确保施工地面完整性、耐磨性及抗冲击性，便于清洁除尘。地面应做好防潮，以防精密机械因湿度产生误差和污染，同时提高车间内工人的舒适度。
其次，在无尘车间进行精密机械加工和计量时，为防止热膨胀引起的误差，应保持工作环境温度的均匀性。车间建筑维修界线和内部装修应采用气密性好、受温度和湿度影响小的材料。此外，车间的内墙和天花板表面应平整、无裂缝、连接紧密。
关于车间顶棚/吊顶的处理。若精密机械无尘车间采用技术夹层，需设置检修通道；建筑风管、回风沟表面装饰规范需与整个送风相适应和回风系统；除尘也要充分考虑后期维修成本。
具体来说，温度的控制是为了保证设备的稳定运行和产品的质量。过高或过低的温度都可能导致设备出现故障或者产品的质量受到影响。而湿度的控制则是为了防止静电和防止设备、人员和产品受到过度的干燥或潮湿的影响。在精密机械无尘车间中，静电是一个非常大的问题，它可能导致设备出现故障、产品受到损坏或者影响操作的准确性。因此，通过控制湿度，可以有效地减少静电的产生，从而提高生产效率和产品质量。
精密机械无尘净化车间加工时的温湿度，精确范围误差保证在2um以内，1um等效直尺温度变化=0.20C，a为直尺线膨胀系数，取10/um/(m?K)，l为直尺长度。由于工件测量仪器等具有一定的热惯性，空气温度的波动在传递到工件后会衰减，所以操作过程也需要充分考虑到工件恒温恒湿车间、围护结构、空气处理设备和自动化控制之间的这一点动态特性。
在装修过程中，为了实现温湿度的控制，通常需要安装恒温恒湿系统。这个系统可以通过调节空气的温度和湿度，以确保车间内的温湿度处于设定的范围内。同时，为了减少尘埃和污染物的影响，车间内还需要安装空气过滤器，对进入车间的空气进行过滤和处理。
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