集成电路制造业是一个在超净化环境中，使用超纯材料进行超微细加工的产业，所以洁净技术在半导体集成电路行业应用也是很广的。

 
1、集成电路生产中主要污染物的来源
集成电路生产中的这些主要污染物可能来源于空气 、水、各种气体、化学试剂 、工作环境、电磁环境噪声以及微振动、操作人员、使用的工具、器具等。
2、集成电路生产中的洁净环境
实现集成电路洁净生产，主要包括如下几方面内容：洁净室设计与施工、操作环境与操作人员管理、高纯气体与纯化、高纯化学试剂与稀释、超纯水系统、硅片与工器具清洗等。在长期的实践中，对于不同的加工线宽所需要的洁净生产环境，如空气洁净度、化学试剂、高纯气体、超纯水等，许多国家和地区都颁布了相关的标准。而操作环境与操作人员管理、硅片与工器具清洗方面，各厂家也都有严格的规范和操作程序，以保证集成电路产品的成品率、产品的性能和产品的可靠性。
 
洁净室的主要指标有：空气中粒子粒径和粒子数目、洁净室的压力、温湿度、风速与换气率、
照度等。集成电路生产环境所控制的粒子粒径，一般为图形线宽的 1／10-1／5。如1微米线宽的集成电路，所需控制的粒子粒径为0.1—0.2微米。
 
3、集成电路生产过程中的洁净技术
集成电路生产中，在洁净室、操作环境的净化级别以及生产所使用的材料、化学试剂、高纯气体、超纯水纯度都符合要求的情况下，操作环境的科学管理以及大量的清洗就成为日常最为重要的工作。集成电路洁净室的污染来源，经测试分析表明，来自操作人员的约占80％，通风占 15％，厂房建筑 占5％，所以应特别加强对于操作人员的管理。具体措施有：一是要加强对操作人员的教育与训练，二是进入洁净室的人员必须达到洁净度标准、进入洁净室人员的数目保持最少限度 ，三是操作人员在洁净室的行为要符合规范 ，如保持自己各方面 的干净和清洁，与工作无关的私人谈话应尽量避免，工器具须放在箱子或柜子中，并放置于
一定的场所等。至于为减少通风与厂房建筑方面造成的污染而应采取的措施有：一是防止外部尘埃侵入，二是室内不形成尘埃的沉积，三是防止室内尘埃扬起，四是一旦尘埃扬起，能尽快地排除。

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