千级洁净棚通常是在万级车间里,搭一个能拆能搬的“小干净房”,顶上用 FFU 往下吹干净风,让局部达到千级。如果做 UV 涂布机头这类精密设备,建议用:防静电高架地板 + 地板下回风静压腔。

1. 基本指标先记住
- 干净程度:每立方米空气中,≥0.5μm 的尘粒不超过 35200 颗。
- 风怎么吹:从上往下垂直吹,像瀑布一样,不要乱绕。工作面风速 0.40~0.46 m/s。
- 换气次数:每小时约换气 180 次。
- 压力:棚内比外面大车间高 5~10Pa,也就是微正压,让脏空气进不来。
- 温湿度:光学涂布常用 23±1℃,湿度 45±3%。
- 防静电:系统电阻控制在 10⁵~10⁹Ω。
2. 棚体怎么做
- 骨架:用工业铝型材,主立柱常用 40×80,副框用 40×40。像搭积木,后期能拆、能移。
- 围起来:用防静电 PVC 网格垂帘;出入口做推拉亚克力门或软帘门。
- 要求更密封的地方:局部改用亚克力板。
- 顶部:做 FFU 吊顶框架,预留 FFU 安装位,再配洁净 LED 平板灯。
3. 顶上 FFU 怎么配
- FFU 规格常用:1175×575mm,配 H14 高效过滤器。
- 顶部不用全铺,FFU 覆盖面积大约 20~30%。
- 但不能只看数量,要按工作面风速来算。
- 每台最好能独立变频、单独启停,带压差报警,滤网堵了能提醒。
- 关键点:出风要均匀。不然局部起涡流,粒子容易超标。
4. 回风两种做法,二选一
方案 A:高架地板下回风(光学 / 涂布优先)
- 地板下面留 400mm 夹层,当作回风静压腔。
- 用 600×600 防静电高架地板,开孔回风板和实心板搭配。
- 气流路线:
FFU 从上往下吹 → 吹过工作面 → 穿过开孔地板 → 进入地板下空腔 → 从侧边回风口回到母体空调系统。
- 地板下走线规则:
桥架、管道尽量放在实心板下面,不要大面积挡在开孔板下面,否则回风不畅,层流被破坏。
- 地板下是回风腔,所以:
- 线缆必须用 低烟无卤 LSZH;
- 桥架用 热镀锌封闭槽式带盖板;
- 禁止用梯式桥架、PVC 线管。
方案 B:侧墙下部回风(简易版)
- 棚子四周底部装回风百叶,风从下部侧面回去。
- 适合设备不大、地面不需要出线的场景。
- 不适合精密涂布,容易产生涡流。
5. 高架地板下布线,重点就这几条
1. 强弱电分开走,平行间距 ≥300mm,不能同槽。
2. 分层布置,从靠近地板往下:
弱电槽盒 → 工艺小管(CDA / 真空)→ 强电桥架。
3. 等电位:地面铺铜箔网格;高架支架、横梁、桥架、金属管道全部跨接连通,接入车间总等电位。接地电阻 ≤4Ω。
4. 施工顺序不能反:
地面防尘漆 → 铜箔网格 → 桥架管线 → 测试清扫 → 最后装高架地板。
5. 地面出线:用洁净型地板出线盒,穿孔缝隙打洁净密封胶封堵。
6. 施工流程(高架地板款)
1. 现场勘测,地面找平,弹线定位。
2. 地面做环氧防尘底漆,铺等电位铜箔网格,做接地干线。
3. 装桥架、工艺管道支架,敷设槽盒和管线。
4. 放线缆、绑扎、贴标签;做绝缘、导通、接地电阻测试;夹层彻底清渣。
5. 装高架地板支架、横梁、防静电地板;开孔板和实心板分区布置。
6. 搭铝型材框架,装防静电垂帘 / 亚克力门。
7. 装 FFU、洁净照明、电控柜,接线。
8. 系统吹扫、自净,找第三方检测:粒子、风速、压差、防静电电阻。
7. 验收看什么
1. 0.5μm 粒子浓度达到 ISO6 千级。
2. 工作面断面风速、均匀度。
3. 棚内外压差、温湿度。
4. 防静电地板表面电阻、接地电阻、等电位连通性。
5. 高架夹层目视检查:无积尘死角,管线不挡回风。
6. 线缆绝缘测试,材料合格证:H14 过滤器、LSZH 线缆、热镀锌桥架。
8. 造价参考
只算洁净棚 + 高架地板 + 地板下管线,不含 AHU 主机:
约 1800~2400 元/㎡。
影响因素:FFU 品牌、高架地板品牌、管线数量、要不要 ESD、要不要第三方检测。
9. 常见坑
1. FFU 数量不够、风速偏低,风会打旋,粒子超标。
2. 桥架铺在开孔回风板下面,回风被挡,流场紊乱。
3. 静压腔里用普通 PVC 电缆、梯式桥架,积尘又过不了消防。
4. 先铺地板再布线,夹层全是灰,后期没法清。
5. 金属构件没跨接接地,静电泄不掉,容易伤产品。
10. 适合用在哪
UV 光学膜涂布头、光学检测、精密组装、半导体封装等。
也就是:在万级车间里,局部提升到千级。旧厂房改造也适用,不用大拆原有围护,模块化还能搬迁。

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